所用技術：光學, 3D, 白光干涉

功能：用于粗糙度測量, 用于平面度測量

應用：工業, 用于生產線, 實驗室

配置：臺式

其他特性：非接觸式, 非破壞性

Zygo ZeGage ProHR桌面式光學輪廓測量儀是用于3D形貌定量測試，和精密機械表面粗糙度檢測的理想非接觸式檢測工具。它工業化的設計提供快速，精確的測量方案，并且外形緊湊、性價比高，能夠放在生產車間工作，而不需要振動隔離和特殊的隔離裝置。同時交互式的控制軟件Mx 提供了簡單而精細的圖形圖像來幫助你的加工處理。

關鍵特點

• 抗震性能，適合于生產車間的計量檢測和過程控制。

• 所有參數遵照ISO 25178國際標準，保證計量結果的可性度。

• 非接觸式計量技術不會引起任何待測件的損傷。

• 計算機控制的4位物鏡轉臺。

• 基于區域的測量，對待測件如何放置不敏感。

• 測量無需任何耗材。

Zygo ZeGage ProHR桌面式光學輪廓測量儀性能

· 結合抗震的非接觸式的光學測量技術，無需振動隔離平臺或者隔離裝置。

· 納米級的表面定量計量精度提供了出色的計量能力。

· 關聯的2D和3D標準，符合ISO 25178面形粗糙度參數標準。

· 百萬像素的高分辨率圖形傳感器可以在幾秒時間內進行快速面測量，并給出  表面細節成像。

· 集成的自動聚焦和聚焦輔助功能使操作非常簡單并且減少了由于操作誤差。

· 可選配機動樣品臺，使高精度檢測的自動測量和大面積拼接成為可能。

多功能性

· 測量各種材料的面形，提供個中參數，包括表面結構，面形和臺階高度等等的2D和3D 圖形。

· 可選擇放大倍率和視場為系統提供更多選擇。

· Mx軟件提供全面的用于表面數據圖像處理、分析和報告的工具。

· 配備的T型槽樣品臺使測量操作簡單、可以重復的定位。

生產力和價值

· 與同類產品相比較（包括探針式接觸式輪廓儀）具有高性價比，及高測量性能。

· 緊湊的機型，及具有抗震技術SureScan( )技術，使Zegage可以整合在工廠里的任何地方。

· 非接觸式的測量系統，沒有耗材，不用擔心使用成本。

· 操作簡便，只需簡單培訓即可上手，也降低了維護成本。

· 大功率、長壽命的LED光源使設備可以長期無障礙運行。