運輸需要注意什么？

運輸是半導體制造過程中極為關鍵和敏感的一環。在運輸過程中，需要注意以下幾點：

1、靜電防護

非常容易受到靜電的干擾，因此在運輸過程中需要遵守嚴格的靜電防護措施。使用適當的靜電防護包裝材料和避免靜電產生的行為，如使用導電鞋墊和穿戴適當的防靜電服裝。

2、真空環境

在運輸過程中需要處于潔凈和真空的環境中，以防止灰塵和污染物對晶圓的影響。運輸過程中應使用密封良好的容器和避免碰撞或振動。

3、溫度和濕度控制

對溫度和濕度變化非常敏感，因此在運輸過程中需要嚴格控制這些參數。使用恒溫恒濕的運輸設備和確保適當的溫濕度范圍，以防止晶圓受損或質量受影響。

4、防震和防震

是非常脆弱和易碎的，需要避免碰撞和震動。在運輸過程中，應使用適當的防震包裝和避免粗暴的操作，以保護晶圓的完整性。

5、運輸記錄和追蹤

為了確保晶圓的運輸過程可追蹤和監控，應使用適當的運輸記錄和追蹤系統。這將有助于追蹤晶圓的位置和狀態，以及及時處理任何潛在的問題。

因此運輸需要非常嚴格的控制和保護措施，以確保晶圓的質量和完整性不受損害。