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激光干涉光刻機(jī)

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2024/6/17 18:38:41
  • 訪問次數(shù) 1560

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上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER),在掃描探針顯微鏡(SPM)領(lǐng)域有多年的實踐經(jīng)驗,擁有一支成熟的銷售、技術(shù)團(tuán)隊,迄今已累計銷售超過100臺(套)儀器。



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激光干涉光刻機(jī)

激光干涉光刻機(jī)

 HIL系列激光干涉納米光刻機(jī)具有突破性的強(qiáng)大功能,只需 要單次曝光即可在幾分鐘內(nèi)制備大面積周期性納米結(jié)構(gòu)。其 最小特征尺寸可以低于50納米。該系統(tǒng)是制作高品質(zhì)、晶圓 級的納米壓印模板和納米結(jié)構(gòu)器件的理想選擇。


最小線寬低于50納米

多種一維/二維納米圖案

單次曝光實現(xiàn)晶圓級納米結(jié)構(gòu)


HIL 1000納米光刻系統(tǒng)非常適用于高質(zhì)量晶圓級納米壓印模板的制作,能滿 足各種研發(fā)和量產(chǎn)的需求。同時,該系統(tǒng)在基于大面積納米結(jié)構(gòu)的器件設(shè)計開 發(fā),尤其是在設(shè)計參數(shù)到試產(chǎn)驗證的快速迭代環(huán)節(jié)中能發(fā)揮巨大的作用。


可選配特征尺寸調(diào)制模塊:對特征尺寸進(jìn)行可定制化的空間調(diào)制,可用于提 高結(jié)構(gòu)尺寸均勻性或根據(jù)設(shè)計要求調(diào)節(jié)尺寸變化。


圓晶級曝光 標(biāo)準(zhǔn)配置的 HIL 1000 系統(tǒng)可以通過一次曝光實現(xiàn)在 3 英寸晶圓上 制造均勻的周期性納米結(jié)構(gòu)。通過選配升級,增加特征尺寸調(diào)制模 還可以將曝光區(qū)域的最大面積擴(kuò)展到 4 英寸,同時具備更好的線 寬均勻性。

高分辨率納米圖案 HIL 1000 系統(tǒng)能制備特征尺寸低于 50 nm 的納米結(jié)構(gòu)。其加工出 的超高深寬比的光刻膠矩形截面非常有助于后續(xù)的刻蝕和沉積等加 工工藝。

快速光路重構(gòu) HIL 1000 系統(tǒng)配備的快速光路重構(gòu)模塊和高精度工件臺有助于制 造具有不同周期和幾何形狀的納米圖案,包括一維線柵和納米點、 孔、棒、棋盤格等二維陣列。

特征尺寸調(diào)制 HIL 1000 系統(tǒng)可以選配特征尺寸調(diào)制模塊。該模塊通過精密調(diào)制 納米結(jié)構(gòu)的占空比,可提高單次曝光區(qū)域內(nèi)的納米圖案均勻性,擴(kuò) 大單次曝光的區(qū)域,同時也可用于實現(xiàn)特定設(shè)計的特征尺寸的晶圓 級空間調(diào)制。


激光干涉光刻(也稱全息光刻)是一種無需掩膜的光刻技術(shù), 可以實現(xiàn)以高通量的方式大面積制造周期性納米結(jié)構(gòu)。 在傳 統(tǒng)的干涉光刻系統(tǒng)的配置中,相干光源通常被分成兩個子光 束,并以一定角度形成干涉條紋,通過投射到涂有光刻膠的 晶圓表面來制造周期性納米結(jié)構(gòu)。干涉圖案的周期可由公式  ?=λ/2sinθ 推算,其中 λ 是光源的波長,θ 是兩個子光束形 成的夾角的一半。

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