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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>干法工藝設備>等離子體刻蝕設備>PICO 德國Diener等離子清洗機

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PICO 德國Diener等離子清洗機

具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 邁可諾技術有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 PICO
  • 產地 德國
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2024/5/17 14:30:57
  • 訪問次數 2593

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半導體化工領域專業實驗設備供應商:邁可諾是一家富有創新精神的高科技公司,專業提供光電半導體化工實驗室所需設備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發、設計、生產并營銷質量可靠的、安全易用的技術產品及優質專業的服務,幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協助他們實現高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機,光刻機,顯影機,等離子清洗機,紫外臭氧清洗機,紫外固化箱,壓片機,等離子去膠機,刻蝕機,加熱板

型號PICO的德國Diener等離子清洗機可以組合成不同的派生型,例如組合成模塊系統。下面是能夠與 Pico 等離子系統組合使用的最常見選裝件的概覽。型號PICO的德國Diener等離子清洗機主要應用于以下領域:

分析 (REM, TEM)考古汽車研究和開發部門半導體技術小批量生產塑料技術醫療技術微系統技術傳感技術滅菌紡織技術

1.基本裝備:

   根據組件/選裝件,外殼規格會有所不同

   腔室容積:根據具體版本 4 - 15

供電電源:臺式設備為 230 V,立式設備為 400 V/3 相位

2.氣體供給:針型閥質量流量控制器 (MFC)

3.真空腔室:

   圓形不銹鋼,帶蓋(約 ∅ 150 mm,長 320 mm 或長 600 mm)或

   矩形不銹鋼,帶鉸鏈的門(約寬 160 mm x 160 mm x 325 mm 600 mm

   矩形鋁材,帶鉸鏈的門(約 ∅ 160 mm x 160 mm,長 325 mm 或長 600 mm

   圓形石英玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約直徑130 mm,長 300mm600 mm

圓形硼硅玻璃 (UHP),配有蓋子或者帶鉸鏈的門(約直徑130 mm,長 300 mm600 mm

4.裝載件

產品支架(選項:水冷型)、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

5.電極:單層或多層RIE

6.控制系統

   半自動型

   Basic PC 控制系統 (Microsoft Windows CE)

Full PC 控制系統 (Windows 10 IoT)

7.壓力測量:Pirani電容式壓力計(適用于腐蝕性氣體版本)

8.計時器:數字

9.發生器

頻率:    

40 kHz:功率 0 - 200 W0 -1000 W

100 kHz:功率 500 W

80 kHz:功率 1000 W

13.56 MHz:功率  0 - 100 W0 - 300 W

2.45 GHz:功率 0 - 300 W

所有發生器均為 0 - 100% 無級可調型

10.真空泵

不同規格,來自不同制造商(根據需要配備活性炭過濾器)

11.其他選項

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、法拉利籠、等離子體聚合配件、測試墨水、氧氣發生器、慢速通風裝置、慢速抽吸裝置、TEM 樣品架法蘭、維護/服務、當地語言的文件、現場安裝,包括培訓。可應要求提供的其他選項




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