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全自動(dòng)槽式智能清洗系統(tǒng)

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槽式清洗半導(dǎo)體

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深圳正陽(yáng)工業(yè)清洗設(shè)備有限公司成立于2008年,經(jīng)過(guò)15余年來(lái)的發(fā)展,如今已在華東、西南、廈門等地區(qū)設(shè)立服務(wù)辦事處。


公司通過(guò)了IS09001質(zhì)量管理體系、IS014001環(huán)境管理體系和職業(yè)健康管理體系,是專精特新企業(yè),擁有多項(xiàng)自主知識(shí)產(chǎn)權(quán),與多所高校建立了長(zhǎng)期技術(shù)研發(fā)合作關(guān)系。


公司集產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、生產(chǎn)、銷售及提供高要求智能清洗整體解決方案于一體,致力于在智能清洗領(lǐng)域做專、做實(shí)、做精、做透、做特!


通過(guò)敬業(yè)、職業(yè)、專業(yè)的服務(wù),深得客戶的信賴,與上百家企業(yè)建立了長(zhǎng)期的伙伴合作關(guān)系,贏得了市場(chǎng)和業(yè)界的尊重!


RCA濕法清洗機(jī),干法等離子清洗機(jī)等

1.一體化、模塊化結(jié)構(gòu),占地小,容量大,清洗產(chǎn)能高;

2.空化效率高,清洗潔凈度高;

3.分離式自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)械手,高效穩(wěn)定、便于維護(hù)保養(yǎng);

4.配套均勻的氣壓鼓泡系統(tǒng),有機(jī)結(jié)合超聲波,滿足市面任一種基板清洗特性;

5.可選配熱能回收系統(tǒng),大幅度降低能耗;

6.PLC+彩色人機(jī)界面控制,多層次密碼權(quán)限,工藝參數(shù)隨機(jī)可調(diào),工作狀態(tài)可視。


用于液晶板制程中切裂后的精密清洗干燥。

可提供多個(gè)槽體或單片進(jìn)行化學(xué)藥液或純水,結(jié)合噴淋、溢流、快速?zèng)_洗等清洗方式,配合*的IPA干燥方式,可同時(shí)對(duì)25或50片進(jìn)行工藝處理。




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