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化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>表面/界面性能測定儀>其它表面測試> HTR-01 桌式4英寸快速退火爐

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HTR-01 桌式4英寸快速退火爐

參考價 9999
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準

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北京精科智創科技發展有限公司是一家主要是從事精密儀器設備,安全控制設備,計量檢測設備,科學研究設備,3D打印及空間技術的研發和銷售的 高科技公司,我們將同國內單位和高等院校合作,服務于國內和國外廣大客 戶,我們將提供更多優質產品,優質服務,共同開拓進取。

 

我們主要經營的產品有:
1、壓電材料測試儀:ZJ-3型d33測量儀,ZJ-4型壓電測試儀,ZJ-5型積層壓電測試儀,ZJ-6型d33d/d31/d15型準靜態系數測量儀

2、鐵電測試儀:ZT-4A型鐵電測試儀,ZT-4C型鐵電測試儀,JKGT-G300高溫鐵電材料測量系

3、介電測試儀:低溫介電測試儀,高溫介電測試儀,高低溫介電測試儀

4、熱電材料測試儀:熱電效應測試儀

 

壓電測試儀,準靜態d33測量儀,d33測量儀,介電測量系統,壓電測量系統,鐵電材料測試儀

產地類別 國產 應用領域 電子,冶金,航天,電氣

HTR-01 桌式4英寸快速退火爐

  

HTR-01A快速退火爐系列采用紅外輻射加熱技術,可實現1-10片樣品同時進行,可實現4寸晶圓片吋樣品快速升溫和降溫,同時搭配超高精度溫度控制系統,可達到的溫場均勻性,對材料的快速熱處理(RTP)、快速退火(RTA)、快速熱氮化(RTN)、快速熱氧化(RTO)及金屬合金化等研究和生產起到重要作用。

主要應用領域:

快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);離子注入/接觸退火;

金屬合金;

熱氧化處理;

化合物合金(砷化家、氮化物等);多晶硅退火;

太陽能電池片退火;高溫退火;

高溫擴散。

產品特點

● 快速加熱和降溫: 最高可控升溫速率可達50 ℃/s,特定條件下可以達到100 ℃/s。冷壁水冷設計能夠達到較大的降溫速率,特定條件下可達30 ℃/s。

● 精確控溫: 采用工業級溫控器進行PID精確控溫,目標溫度與設定溫度曲線一致性高,可實現室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

● 適應多種工藝環境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮氣、氬氣等)。同時,通過選配真空泵,可以在真空條件下進行退火,最高真空度可達10-5Pa。

● 配備觀察窗口: 通過觀察窗口,可以實時觀察熱處理過程中的樣品變化。同時,可以結合相關測試方法進行原位測試分析。

● 超高安全系數: 采用爐壁超溫報警系統和冷卻水流量報警系統,保障儀器使用安全。

● 售后服務:,能快速反應客戶售后需求。



最大樣品尺寸

4英寸(直徑20mm)

控溫范圍

RT~1200

升溫速率(max)

50℃/s

高溫段降溫速率(max)

600℃/min

溫度均勻性

≦1%

控溫精度

±0.1℃

氣體流量

標配1路,可擴展至多路

放樣管徑

Ф210mm*320mm

放樣數量

          4-10個

真空度

   真空度可以達到10-5

    控制方式

支持真空、氧化、還原、惰性氣體等工藝氣氛,也可設置通過軟件控制真空及通氣時間





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