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化工儀器網>產品展廳>工業在線及過程控制儀>流量計流速儀/測漏儀>質量流量計>SEC-Z512、Z522、Z524 horiba高品質數字式質量流量計

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SEC-Z512、Z522、Z524 horiba高品質數字式質量流量計

參考價 18200
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱 上海進佳科學儀器有限公司
  • 品牌 HORIBA/堀場
  • 型號 SEC-Z512、Z522、Z524
  • 產地 rib
  • 廠商性質 代理商
  • 更新時間 2025/4/1 9:23:33
  • 訪問次數 1511

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聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!


我公司代理進口品牌多年,有兩大業務:horiba質量流量控制器和Dwyer儀器儀表及配套管接件。

HORIBA著名的半導體設備供應商,主要提供氣體質量流量控制器、液體質量流量控制器、壓力控制器、汽化器。在半導體設備PECVD、MOCVD、Etch等關鍵工藝有非常廣泛的應用。暢銷的質量流量控制器有高性能的SEC-Z700系列、SEC-D500系列、SEC-Z500系列,低成本的有SEC-N100系列、SEC-E40系列及國內組裝的S600系列、S48系列、S500系列。液體流量控制器有LV-F50LF-F60,壓力液體汽化器UR-Z700系列、GR-200系列、GR-300系列、PV-1000,氣體濃度計IR-300、IR-400,汽化器有VE10、VE20、MV-2000,皂膜流量計SF/VP系列,真空計VG-200S


儀器儀表代理品牌是美國dwyer、美國Omega、日本Horiba美國dwyer德威爾儀表成立有80多年,是美國*的儀器儀表生產商,有多個自主品牌:MagnehelicFlotectMercoidLove,主要產品有:差壓表2000-250Pa、負壓表2000-500Pa2000-60pa2000-25MBAR2000-3KPA2000-1000PA;數顯變送器MS-111MS111LCDMS121LCDMS311LCDMS141LCD;防爆差壓開關1950-1-2F1950-5-2F1950-20-2F1950G-1-2F-241950-0-2Fflotect流量開關V4-2-UV6EPBBS1BATV6EPBBS3BATV6EPBBSLFflotect液位開關L6EPBBS3CCSA;風速變送器641-6-LED641-12-LED641RM-12-LED;轉子流量計RMB-11-SSV-APFRMA-13-SSV-APFRMA-25-SSV-APFRMA-150-SSV-APFRMB-51D-SSV-BPFRMB-57D-SSV-BPFRMB-85D-SSV-BPFVFA-2-BV;高低壓報警開關A3000-1KPA-240VACA3000-750PA-240VAC3000MR-500PA3000MR-60PA3000MR25MM;防爆差壓開關AT23000MRAT21910AT21823AT2MSAT21640AT11910AT1ADPS

另有美國Omega熱電偶、Omega熱電偶插頭、Omega熱電偶線、Omega流量計等;韓國TKSUPER LOK,卡套,超純隔膜閥,VCR直通,鎳墊片,焊接、卡套、VCR接頭,廣泛應用于電子半導體,太陽能,暖通,空調,食品,制藥,生物工程,智能樓宇,電廠,化工,水處理,環境監測,工業制造和實驗室等領域。



氣體質量流量計,熱式質量流量計,熱式質量流量控制器,液體質量流量計,液體質量流量控制器,壓力調節閥,壓差表、壓差傳感器、制粒干燥機

產地類別 進口 產品種類 質量式
價格區間 1萬-3萬 介質分類 氣體
應用領域 生物產業,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣

暢銷型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z512、SEC-Z522。

可選低成本數字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM。

可選低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3。

國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32、S300。

國內組裝數字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

 

一、產品概述:

horiba高品質數字式質量流量計SEC-Z512、Z522、Z524屬于SEC-500X系列,高性能數字式質量流量控制器多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中,國內多回收、二次銷售,我公司提供進口Z514、Z524,保修期1年。

 

二、產品特點:

1)多種氣體及多種流量范圍,可以自由地更改氣體類型及更改滿量程流量,現場設定;

2)超高精度:±1.0% S.P.(25-100% F.S.);±0.25% F.S.(≤25% F.S.);

3)快速響應:<1秒(全量程范圍內,任意設置點);

4)非常方便的現場設置操作;

5)多種氣體及多種流量范圍能力集成于一顆質量流量控制器,可以zui大限度地減少庫存;

6)與現有模擬式質量流量控制器兼容;

7)模擬通信與數字通信(DeviceNet)可同時進行;

8)氣體接觸部件材料:SUS 316L不銹鋼(1sccm~50slpm F.S.類型);SUS 316L不銹鋼,Viton(氟化橡膠-密封),PTFE(聚四氟乙烯),磁性不銹鋼(100~200slpm F.S.類型)。

 

三、horiba高品質數字式質量流量計產品參數:

規格-數字-模擬轉換模式

型號*1

SEC-Z512、Z514

SEC-Z512MGX

SEC-Z522MGXN

SEC-Z522MGX

SEC-Z514MGX

SEC-Z524MGXN

SEC-Z524MGX

全標準流量(N2轉換流量)

1/2SCCM

10SCCM-10SLPM

10-50SLM

閥門類型

O:通常打開 C:通常關閉

關閉控制閥時的流量

≤2% F.S.

流量測量范圍

0-100% of F.S.

精確性*2

±1.0%F.S.

±1.0%S.P.(流量>25%F.S.)

±0.25%F.S.(流量≤25%F.S.)

工作溫度

5-50°C(建議溫度范圍:15-45°C)

響應

≤1秒:超過全流量范圍

直線性

≤±0.5% F.S.

反復性

≤±0.2% F.S.

工作壓差值

≤300kPa(d)

zui大工作壓力

450kPa(g)

耐壓

1000kPa(g)

外部泄漏率

≤5x10-12Pa·m3/s(He)

流量設定信號

0.1-5V DC(2%-F.S.);輸入阻抗1MΩ或更高

流量輸出信號

0-5VDC(0%-F.S.);zui小負荷阻力2kΩ或更高

數字界面

地址功能:RS-485(轉換速度38,400bps)

F-Net協議,DevceNet

接液部材質

316L不銹鋼(表面拋光)

電源

+15V±5% 150mA

-15V±5% 150mA

信號反應

模擬:D-Sub 9-pin(TOP)

數字:2LAN jacks(TOP)

標準接頭*3

1/4 inch VCR

1/4 inch VCR

1.5 inch IGS

選擇:1.125 inch IGS, 1.5 inch IGS

可選1.125 inch IGS

安裝方向

自由

*1SEC(SEF)-Z512MGX,Z522MGX,和Z522MGXN氣體類型以及全范圍設定由操作者運用特殊軟件改變。
*2流量精度保證溫度符合SEMI E56-1296標準。精度是聯合全范圍MR以及MG數字值。
*3IGS:完整氣體系統。
*SCCM和SLM是表示氣體流量的記號。(mL/min,L/min,at0°C和101.3kPa)。

 

本公司同時提供美國AALBORG、美國Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC質量流量計、質量流量控制器、數字式質量流量控制器、耐腐蝕質量流量控制器。

進口數字型號:SEC-Z514MGX、SEC-Z524MGM、SEC-Z534MG、SEC-Z516MG。

進口低成本數字型:SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N116MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、SEC-N176MGM。

進口低成本模擬型:SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-E40V、SEC-E50V,kolfoc 3760、GFC17S、GFC37S、GFM47S、GFC57S、GFC67S、GFC77S,omega FMA1815S。

國內組裝模擬型:Horiba S48 28、horiba S48 32。

國內組裝數字型:S600 BR212、S600 BR222、S600 BM212、S600 BM222、S600 BR226、S600 BM226、S600 CR212、S600 CR222、S600 CR226、S500BR212、S500BM212。

Horiba液體流量控制器LV-F20 PO、LV-F30 PO、LV-F30 PO、LV-F40 PO、LV-F50 PO、LV-F60 PO、LV-F20 MO、LV-F40 MO、LV-F60 MO、LF-F20M、LF-F30M、LF-F40M、LF-F50M、LF-F60M

配套的閥門管件:韓國TKF 1/4手動隔膜閥S4DVN-VM-P、1/2手動隔膜閥S8DVN-VM-P、1/4VCR五件套S4SG19-P、S4LG19-P、UN4GT、S4MN、S4FN,美國Valex不銹鋼管,1/4”EP級不銹鋼管、3/8”EP級不銹鋼管、1/2”EP級不銹鋼管。

 



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