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UVO系列 紫外臭氧清洗機

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

CIF紫外臭氧清洗機清洗機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

 

 

 

 

 

 

 

 

冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

一、產(chǎn)品簡介

紫外臭氧清洗機UVO),是一種簡單,經(jīng)濟,快速高效的材料表面清洗設備,能快速去除大多數(shù)無機基材(比如石英,硅片,金,鎳,鋁,砷化鎵,氧化鋁等)上的有機污染物。

CIF紫外臭氧清洗機采用長壽命UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,樣品臺高度可調(diào)并可選加熱控溫,以便達到最佳清洗效果。

二、產(chǎn)品特點

1. UVO基礎型采用可編程數(shù)字控制器,設置操作簡單方便,四鍵操作控制。UVOP和UVOT系列采用5寸彩色觸摸屏設置顯示計時時間及加熱溫度。

2. 自動補償功能,自動恒定光強光密度,不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

3. 數(shù)字倒計時顯示清洗時間,1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。

4. 任何時間可以手動中斷處理過程。

5. 自動記錄之前清洗參數(shù)設置。

6. 樣品臺可控溫(可選),控溫范圍RT-220℃,控溫精度0.1℃。

7. 頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式,操作簡單方便。

8. 上置式樣品臺設計,360度自由放置樣品,操作方便。

9. 樣品臺高度可調(diào),通過調(diào)節(jié)燈與樣品之間的間距,可以合理定位樣品高度和位置,并可鎖定。

10. UV石英低壓汞蒸汽格柵燈,燈管壽命大約為8000小時。

11. 高強度UV燈源,波長185nm和254nm。

12. 可累計計時UV格柵燈使用時長,更換提示。

13. UV反射罩(長X寬)比UV格柵燈大2.5cm,比如規(guī)格為13x13cm格柵燈反射罩尺寸大于15×15cm。

14. 雙重安全保護,帶有安全鎖,當清洗腔打開時,系統(tǒng)自動關掉UV燈,并有燈光通斷提示。

15. 帶進&出氣口雙氣路設計。

16. 可接入氧氣或者臭氧,增加臭氧產(chǎn)量。

17. UVO5可選外置臭氧中和器,UVO9、UVO12系列可選外置或者內(nèi)置臭氧中和器,用于臭氧清除。

18. 可根據(jù)客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

三、 技術參數(shù)

產(chǎn)品型號

UV燈尺寸cm

樣品臺高度cm

主機重量kg

外型尺寸(LxWxH)cm

UVO5/UVO5P/UVO5T

13x13

5cm內(nèi)可調(diào)

6

31x26x20

UVO9/UVO9P/UVO9T

23x23

5cm內(nèi)可調(diào)

12.5

60x50x20

UVO13/UVO13P/UVO13T

33x33

5cm內(nèi)可調(diào)

18.5

70x60x20

注:UVO型基礎型樣品臺不帶加熱功能,樣品臺高度可調(diào);UVOP可選配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調(diào);UVOT標配樣品臺加熱功能,樣品臺高度可調(diào)。





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