| 價格區間 | 面議 | 儀器種類 | 熱場發射 |
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| 應用領域 | 環保,化工 |
半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM
用于半導體計量和工藝表征的高生產率透射電子顯微鏡
半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點
一致、可重復、精確
全新設計，提供可重復的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計量能力的計量器。
計量準確度
TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。
自動化 EDS 和混合計量
通過自動化獲取和量化 EDS 數據。使用關鍵尺寸元件對比度來擴展 STEM。
工作流程連通性
通過樣品制備、提取和成像跟蹤關鍵工藝數據。計量可離線應用，從而極大增加工具采集時間。所有成像和計量數據均整合在基于網絡的圖像查看器中。
高壓范圍 (kV) | 60-200 kV | |
信息限度 200 kV (nm) | 0.11 | |
未校正 | 探頭校正* | |
STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV |
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STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV |
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用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計量精密度 |
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電子源 |
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超穩定電子設備和高壓 |
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隔音罩 |
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恒定功率透鏡 |
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壓電載物臺 |
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探頭校正器兼容 |
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