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化工儀器網>產品展廳> 顯微分光膜厚儀(OPTM系列)

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顯微分光膜厚儀(OPTM系列)

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上海倍藍光電科技有限公司成立于2012年,是一家年輕而又富有生命力的公司,公司負責人于立民擁有中國科學院長春光學精密機械研究所應用光學國家重點實驗室光學專業碩士學位,同時擁有中國科學院上海技術物理研究所航天遙感室物理電子學專業博士學位。曾就職于Labsphere Inc.(藍菲光學)公司擔任該公司亞太區技術總監,負責亞洲區域內客戶解決方案的制定及技術支持。在供職期間,主導并設計了多項難度大、技術復雜的定制項目,如大口徑空間相機輻射定標系統、弱光紫外空間相機輻射定標系統、單波長可調諧均勻光源系統、高精度多光譜輻亮度標定系統(輻照度標準燈-漫反射板系統)、顯示器ACR(環境對比度)測量系統等多個高難度、高復雜度的定制系統。后帶領一支具有豐富的儀器設備開發、使用維護經驗的工程師和商務人員成立倍藍光電科技有限公司。

公司專注于光電領域儀器設備的定制開發、代理銷售與系統集成業務包括儀器設備的維修和周邊產品的銷售,為國內科研及制造業用戶提供全面的服務。公司致力于引進國際上先進的產品、先進的技術完善定制服務,向客戶提供完善的服務、完善的產品、完善的售后服務。幫助客戶解決在科研、生產中遇到的問題。

公司在代理和銷售光電設備的同時并提供基于各種光電設備的拓展應用和OEM研發。我們在光電行業有著多年的工作經驗和實際操作方案,積累了大量的應用和研發實例,為客戶提供一站式的解決方案。

 

 

儀器

測量目標膜的**反射率,高精度測量膜厚和光學常數!非接觸·非破壞·顯微

測量時間僅1秒!

顯微分光膜厚儀(OPTM系列)使用顯微光譜法在微小區域內通過**反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1秒/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件

顯微分光膜厚儀(OPTM系列)(圖1)

產品特點:

  • 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

  • 通過顯微光譜法測量高精度**反射率(多層膜厚度,光學常數)

  • 1點1秒高速測量

  • 顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外***近紅外)

  • 區域傳感器的安全機制

  • 易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析

  • 獨立測量頭對應各種inline客制化需求

  • 支持各種自定義

測量項目:

  • **反射率測量

  • 多層膜解析

  • 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

應用:

  • 半導體:晶圓樣品的自動調整,晶圓的彎曲檢測

  • 光學元器件:鏡頭鏡片的放射率,彎曲等檢測

產品規格型號


OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范圍

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范圍

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

測定時間

1秒 / 1點

光斑大小

10μm (***小約5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘燈+鹵素燈  

鹵素燈

電源規格

AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分)

重量

約 55kg(自動樣品臺規格之主體部分)


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