硬度與模量測試 (Oliver-Pharr模型)

在薄膜的工藝控制和制造過程中，表征其力學性能至為重要，其中包括汽車行業的涂層質量，以及半導體制造中的前道和后道工藝控制等。

G200X納米壓痕儀可在寬泛材料上測量硬度和模量，對從超軟凝膠類樣品到硬質涂層等各種材料提供解決方案。更快，更好和更具成本效益的解決方案為生產線提供可靠的品質控制及保障。

高速材料力學性能圖譜功能

對于包括復合材料在內的許多材料而言，不同區域之間的力學性能可能會有很大差異。 G200X系統能夠在X軸和Y軸方向上各提供 100 毫米的樣品臺移動，并在Z軸方向上提供25毫米的移動，在大面積樣本區域下輕松表征不同厚度，寬度，長度的樣本。可升級選件NanoBlitz 力學形貌圖譜和斷層譜圖 軟件能夠快速輸出力學性能的彩色分布圖。

ISO 14577 硬度測試

Nano Indenter G200X 包括預先內置的ISO 14577測試方法，可根據ISO 14577 標準測量材料硬度。該測試方法可以自動測量并輸出楊氏模量、儀表硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。

界面附著力測試

膜層材料的界面粘附性的測量對于幫助用戶了解薄膜的失效模式至關重要。內應力的存在常常會導致鍍層樣品的薄膜分層現象，Nano Indenter G200X系統可以通過膜層界面的斷裂及黏附特性和殘余應力等性能的測試，實現對多層界面的性能評估。

斷裂韌性測試

斷裂韌性反映了結構阻止宏觀裂紋失穩擴展能力，是結構抵抗裂紋脆性擴展的參數。低斷裂韌性值意味著樣品存在的缺陷。G200X*的剛度成像功能可以輕松地對材料的斷裂韌性進行評估。（剛度分布測量需要連續剛度測量和NanoVision選件）

粘彈材性測試

聚合物是結構異常復雜的材料，力學性能易受其化學特性、加工工藝和熱力學歷史的影響。力學性能取決于母鏈的類型和長度、支化、交聯、應變、溫度和頻率等，而這些因素通常是相互關聯的。G200X可在特定測試環境中對相關聚合物樣本進行力學測試，為聚合物高分子材料設計參數決策提供了有價值的數據信息。

納米壓痕測試所需樣本尺寸小，樣本制備要求簡單，可高效簡化這種特定環境的測量。Nano Indenter G200X 系統還可以通過與材料充分接觸的同時激發高頻振動來測量聚合物樣品的復合模量和粘彈性。

掃描探針顯微成像 (3D 成像)

Nano Indenter G200X 系統提供兩種掃描探針顯微成像方式，用戶可利用三維成像來表征斷裂韌性研究中產生的裂紋長度等。 Nano Indenter G200X 與NanoVision選件結合，可提供高達1nm步進的橫向分辨率的高精度PZT樣品臺，實現高精度定位，100µm x 100µm的橫向掃描范圍。Nano Indenter G200X測試平臺標準的高精度X/Y 納米馬達臺與Inview 軟件及掃描測量選件結合，可提供500µm x 500µm的橫向掃描范圍。

定量劃痕和磨損測試

G200X 系統可以對多種材料進行劃痕和磨損測試。在涂層和薄膜經過化學機械拋光 (CMP) 和引線鍵合等的多種工藝處理的時候，其強度及其對基材的附著力會備受考驗。在加工工藝中，材料是否能抵抗塑性變形并保持完整而不從襯底上起泡非常重要。理想情況下，介電材料具有高硬度和高彈性模量，因為這些參數有助于了解材料在制造工藝中的性能變化。