P-300F Picosun
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海磊微科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 P-300F
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/4/4 15:56:40
- 訪問次數 919
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| 價格區間 | 面議 | 儀器種類 | TOF |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 環保,化工,能源 |
PICOSUN P-300系統已經成為高產能ALD制造業的新標準。擁有的熱壁、*獨立的前驅體管路和特殊的載氣設計， 確保我們可以生產出具有優異的成品率、低顆粒水平和的電學和光學性能的高質量ALD薄膜。高效緊湊的設計使得維護更加方便、快捷， 最大限度的減少了系統的維護停工期和使用成本。擁有專技術的Picoflow?使得在超高深寬比結構上沉積保形性薄膜更高效， 并已在生產線上得到驗證。
PICOSUN原子層沉積系統是一種的薄膜制備設備，用于制備微米或納米級別的涂層或膜，以應用于包括半導體、電子、生物醫學和光學在內的多個領域。該系統采用原子層沉積（ALD）技術，可以實現高精度、高質量、高重復性和低缺陷的薄膜制備。
核心優勢是利用薄膜制備過程中的化學反應動力學控制每個反應步驟的沉積速率和化學反應，以實現單層膜、多層膜或堆疊膜的精確控制。該系統可以使用多種有機/無機沉積氣體材料，所以可以生產多種不同類型的膜層。
采用豎直式的設計，在反應室內通過副反應室進入氣體，與基底進行反應沉積，尤其適用于小型和容易反應的樣品，但也可用于大尺寸樣品。核心組件包括壓力鍋、氣壓控制和儀器電氣控制系統，使該系統具有的自動化和可重復性。
應用領域廣泛，用于制造各種微電子設備如IC、MEMS、LED等，以及太陽能電池、氫燃料電池、生物醫學器材、強化材料等各種領域。由于該系統具有高效、高可靠性和高靈敏度，因此其應用范圍很廣，具有的市場需求。以下是詳細介紹。
原理與工藝
的是氣相化學反應技術，采用在線反應室微觀熱墓和在線紅外線吸收光譜檢測系統，可以實現的反應速率和高度可控制的反應過程。兩種基本反應原理是ALD一次反應。
第一反應：氣態前體 A + 基底表面 - 第一層（物質A）
第二反應：氣態前體 B + 第一層（物質A） - 第二層（物質B）
ALD制備薄膜的工藝流程如下：
1.基板預處理
清洗是保證ALD反應的可靠性和一致性的最基本的前置處理工藝。清洗是將基板的表面粗糙度、污染物和氧化層除去，以及提供活性表面。通常，清洗過程可以使用化學浸泡、酸洗和高溫處理。在清洗過程中，應控制基板表面的穩定和一致，也應減少基板污染和金屬熱氧化。
2.沉積前處理
沉積前處理是為了去除基板表面的雜質，包括氧化物、有機物、水分子等，以便更好地與反應氣體進行反應。一般來說，沉積前處理使用激活氣體，如氫氣、氟氣、氮氣等，在表面形成一個極其活性的表面，以便后續的反應。在沉積前處理過程中，要確保處理的穩定性和精確性。
3.原子層沉積
ALD的本質是在表面上原子層移植，通過ALD可控制每一層的沉積厚度，初始化速率和控制膜質量。ALD沉積一般采用靜態反應，即在靜止的氣氛中，每個反應基元分子沉積。此過程需要多個升降溫周期，即沉積源泵出B基元分子，氣氛清洗，加熱處理，B基元分子吸附，在加熱的過程中，升高到C基元分子泵出的溫度，C基元分子泵出，再經過清洗。
4.結束處理
在沉積完成后，需要進行后處理，以便將沉積過程中可能殘留的化學物質去除，并使膜的性能更加穩定和均勻。后處理過程包括清洗和烘烤，清洗是為了去除殘留的反應物，而烘烤是為了去除表面的水分和表面張力，并進一步強化膜的剩余應力。
產品特點
1.精確和可重復制
的是原子層沉積技術，具有非常高的精度，將落在每一層的薄膜厚度控制在數個原子的尺度上，隨著復合層數目的增加，對最終的薄膜質量的要求也在增加。同時，該系統也具有非常高的可重復性，可以保證每個沉積過程的質量和結果都非常一致。
2.多樣化的附加功能
除了標準的原子層沉積功能之外，PICOSUN原子層沉積系統還具有多種可選的功能，以滿足不同領域的需求。比如，防反射涂層、光學薄膜、生物醫用薄膜等，該系統可以根據不同領域的要求進行調整，定制化的生產薄膜，從而使客戶得到產品。
3.高度智能化和技術
高度智能化的控制系統，使系統具有高度自動化和可重復性，可以在外部網站上實現現場監控和控制。同時，系統采用了的技術，如紅外線光譜儀、微觀熱墓等，使系統具有高精度和高品質的制造工藝。該系統還采用多種原理和各種控件之間的同步性，在反應過程中保證了高度的一致性和可靠性。
4.廣泛適用的應用領域
適用的領域非常廣泛，產品廣泛應用于半導體、光電設備、微電子制造、太陽能電池、啟動裝置、燃料電池制造、生物醫學器材、電子電器制造等多個領域，以滿足不同領域的需求。
5.專業的技術支持團隊
PICOSUN原子層沉積系統由專業的技術支持團隊支持，可提供全面的技術支持和培訓，為客戶的研發和制造保駕護航。在安裝、調試和使用過程中感到疑惑時，可以隨時聯系技術支持團隊獲取幫助。
主要優勢
1.制備高質量膜層：PICOSUN原子層沉積技術具有高度控制和預測性，可以在過程中獲得高質量的膜層，使膜層的各種物理和化學性質得到精確地控制。
2.高度可控性和準確性：由于采用原子層級別制造技術，因此能在超小尺寸范圍內控制每一層的厚度，從而精確地控制物質的性質，制備出滿足不同需求的膜層。
3.良好的生產效益：由于精確的原子層沉積技術和高度智能化的控制系統，使得PICOSUN原子層沉積系統具有高效、可重復的生產效益。
4.更多的應用領域：與其他技術比較，原子層沉積系統具有更廣泛的應用領域，可以廣泛應用于電氣、電子、光學、化學和生物醫學領域等多種領域。
5.為客戶定制的解決方案：PICOSUN原子層沉積系統還可定制化，以滿足客戶不同需求的需求，從而優化產品，為客戶提供更好的解決方案。
主要功能
1.超高功能型防反射涂層
PICOSUN原子層沉積系統支持多種防反射涂層，例如納米級SiO2和CaF2.這種超高功能型防反射涂層能夠在材料上覆蓋納米粒子加強材料自身的反射鏡效果，提升透過率和光響應度，適用于各種光學器件。
2.光電設備的制備
PICOSUN原子層沉積系統提供的ALD制備沉積技術，可應用于半導體和微電子制造領域。它可以高度控制膜的厚度和質量，制造器件的性能穩定，提高生產效率和降低成本。
3.太陽能電池的制造
利用ALD制備技術，可以制作高效率，耐用和高可靠性的太陽能電池。該系統采用多種化學反應，可以實現高度控制的層厚度、化學組成分布和加工能力，使太陽能電池更加堅韌、高效和可靠。
4.汽車啟動裝置的高效制造
汽車啟動裝置需要在各種環境下工作，PICOSUN原子層沉積技術可定制化制造多種高性能材料，可以滿足這些環境的需要。該系統提供了高度控制的層厚度和化學組成分布，可以提供優質的動力學性能和高可靠性。
5.醫學用途材料制備
與傳統壓滴涂涂等技術制備醫用器材相比，PICOSUN原子層沉積技術可定制化制造其他多種材料，如沉積小分子化合物或生物材料膜、制備緩釋藥物等，從而提供更大的優質產品線選擇。
6.氫燃料電池的高效生產
PICOSUN原子層沉積技術可應用于氫燃料電池的生產制造。該技術提供了多種精準制造功能，例如可定制化的負載控制，可快速制造出高質量、高精度的氫燃料電池。此外，該系統還可以克服傳統生產方法所受到的成本和效率限制。
7.塑料、古董等物件的保護護理
PICOSUN原子層沉積技術也可用于物件保護層的制備。例如對于塑料制品和古董中的絲綢、纖維等材料,可制備保護層用于彌補這些物質的缺陷和凹陷，及從而維護其使用壽命，對它們的物理及化學性質中的損傷起到防護作用。
規格參數
PICOSUN原子層沉積系統技術參數：
最大沉積面積(mm): 200×200×800（WxDxH)
氣氛處理方式: 靜態/動態流
氣氛處理材料：金屬和半導體（納米級和亞納米級）
反應室最高溫度(℃): 客戶可定制化
外部尺寸(mm): 1200×900×1850WxDxH
設備重量(kg): 850
控制系統: 液晶觸摸屏、PLC控制系統
反應器膜層數：最高可達1000
附屬設備：
紫外線燈
真空泵
高精度儀器電熱膜轉臺
紅外線光譜儀
微觀測熱儀
多示波器
壓力計
小型氣泵
結論
PICOSUN原子層沉積系統是一種可以制備高質量、精準薄膜的薄膜加工設備，具有多種應用功能，可以制備多種膜層，涵蓋多個領域和行業，包括半導體、電子、生物醫學和光學等。其基于ALD技術的沉積過程具有高度可控性、高精準性和生產效益性，并且可以根據不同領域的需要進行定制化制造，以滿足客戶不同的需求。該系統的安裝、調試和使用過程十分簡單，質量和效率均得到保證，其有效地為客戶提供了更多的解決方案，也為其帶來更廣泛的市場需求。
PICOSUN? P-300F系統代表了工業化ALD工藝。這個系統是為全自動的批量生產而設計， 并與工業標準化的單片晶圓真空集群平臺相結合。 P-300F系統通過SEMI S2/S8認證，可以通過SECS/GEM整合到自動化生產線上。
The PICOSUN? P-300F是IC行業創新驅動行業的選ALD系統！
襯底尺寸和類型
200 mm 晶圓 50片/批次
150 mm 晶圓 50片/批次
100 mm 晶圓 50片/批次
高深寬比基底（最大深寬比1:2500）
基底材料： Si,玻璃，石英， SiC,GaN, GaAs, LiNbO3, LiTaO3, InP
工藝溫度和產率
50 – 300°C
最高達到1000片/24h@15nm Al2O3薄膜
批量生產的平均工藝時間小于10秒/循環*
Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬
同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ
(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**
基片裝載
全自動裝載， 帶垂直翻轉功能的真空集群設備
通過Picoplatform? 200 真空集群系統進行盒 對盒批量裝載
可選SMIF配置
前驅體
液態、固態、氣態、臭氧源
源瓶余量傳感器， 提供清洗和裝源服務
6根獨立源管線， 最多加載12個前驅體源
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