VP-RS20等離子體刻蝕機采用真空不銹鋼腔體等離子清洗裝置（CN201821506143.X）技術，對標國際一線廠家，補充國內技術短板，真空腔體不銹鋼材質，功率500W，VP-RS20頻率13.56MHz，容積20L，能對材料起到清潔、刻蝕、活化、改性的作用，滿功率運行3分鐘，腔體溫度不高于45℃，不損傷樣品，適用于半導體刻蝕、芯片刻蝕、碳毯（CF）、微流控芯片PDMS鍵合、ITO導電玻璃、纖維、單晶硅片、PET、二氧化硅等幾乎所有材料的PLASMA處理。

      廣州善準科技有限公司（Guangzhou SunJune Technolog Co.,Ltd）位于中國廣州，專注于等離子體刻蝕機、真空等離子處理儀、旋轉型真空等離子處理儀、旋轉型等離子體低溫灰化儀和石英管真空封管機的研究、開發和制造。善準人經過多年的刻苦鉆研，抽絲剝繭，反復測試、成功獲得“一種低溫旋轉型石英等離子表面處理裝置：ZL202020226847.2）”等十項國家技術及軟件著作權，成為國內掌握產生13.56MHz頻率，保證滿功率清洗30分鐘真空腔體內溫度不超過32攝氏度的等離子生產廠家，應用此技術的VP-R系列迅速成為行業“爆款”，補充國內技術空白，性能比肩一線廠家；研發生產的旋轉型真空等離子處理儀和旋轉型等離子體低溫灰化儀成功推出，進一步鞏固了善準科技在真空等離子清洗機行業的地位；而回應市場需求，解決樣品在無氧無水條件下進行PLASMA處理的痛點而推出的手套箱專用分體式真空等離子處理儀，則驗證了善準人與時俱進的研發能力和敢為人先的風格；VS-Q系列石英管封管機解決實驗室安全、簡易地真空密封石英管的難點，是對石英管真空密封技術的重新定義。