美國Entegris氣體過濾器WGMXMSRR2

美國Entegris氣體過濾器WGMXMSRR2

一般特征

•寬的FS流量測量和控制范圍

從< 3ccm到2500 lpm (N2

當量)

•精度高達1200 lpm:±1.0%的速率(20%-100%

±0.2% FS(低于20% FS)

1200-2500 lpm:±1% FS包括線性。

(校準條件)。

•傳感器穩定性行業。長期漂移

每年績效< 0.2%。增加系統

通過減少維護和消除吞吐量

定期調整配方。

•存儲多達10個可選校準曲線。

通過限制庫存來減少備件庫存

單個MFC/M的數量需要降低

庫存持有成本。

•彈性體下端口工藝連接選項

符合ANSI/ISA SP-76標準

簡化了安裝和維護的效率

足跡。

控制反應:

•沉淀時間小于1秒。

(在請求)。

•軟啟動可用于定制MFC性能

過程的要求。

•專有的自適應閥門控制算法是

這保證了意外的變化

工藝壓力不會導致流量偏離

定位點。

模擬I / O選項:

•15針D-Connector

•0(1)-5伏或0(4)-20毫安設定值和流量信號

•單面24伏直流電源

(13.5-27伏直流范圍)。

•獨立的閥門覆蓋信號

•精密5伏參考輸出信號

•與布魯克斯0150系列型號兼容

二次電子

•TTL(開路采集器)告警輸出信號

數字通信選項:

•DeviceNetTM, ODVATM認證

•FOUNDATIONTM現場總線，H1認證

•基于HART®RS-485多點傳輸

描述

Brooks instruments的SLA5800系列是一種彈性體

密封數字熱質量流量測量和

控制儀器，提供了的靈活性

和性能。SLA5800系列MFC是

設計用于*氣體處理系統。

結果是最準確的，可重復的，和

今天市場上的響應式MFC !

寬的流量范圍

SLA5800系列涵蓋了非常廣泛的范圍

的流量。SLA5850型可以有全比例的流量

低至3厘米。在50:1的高壓下比下，

準確的氣體流量可以測量或控制下來

ccm 0.06 !SLA5853型可以測量或控制氣體

流量高達2500公升/分鐘。

快速響應性能

全數字電子和*的機械

SLA5800系列中的配置提供了超

快速響應特性。沉降時間

少于一秒，但布魯克斯的

自適應閥控可以實現響應時間的

0.2秒。

廣泛的通信選項

Brooks®提供傳統的0-5伏和4-20mA模擬

選項，以及RS-485數字通信(“Sprotocol”，

基于HART)。布魯克斯還提供了控制

接口通過數字網絡協議，如DeviceNet，一個

高速(高達500k波特)數字通信

網絡或FOUNDATION®現場總線。布魯克斯

通信能力和設備配置文件

通過ODVA(開放DeviceNet供應商的)認證

和ITK互操作性測試套件。其他

網絡協議正在開發中。跟你的

布魯克斯代表向您詳細介紹您的具體需求。