專為超大納米平板顯示器測量而設計的 自動化原子力顯微鏡（AFM）系統

專為0LED, LCD和其他大樣品分析提供

全自動的原子力顯微鏡解決方案

全自動探針掃描器系統可用導電原子力顯微鏡的測量

Park NX-TSH業內一個用于分析大于300毫米樣品的自動化探針掃描器。

?Park原子力顯微鏡公司已經擴展了原子力顯微鏡設備的測量尺寸， ParkNX-TSH（龍門架設計平板式探針掃描器）可針對第八代及大于 第八代的所有大型平板顯示器進行測量。

? NX-TSH專為大型和重型平板顯示玻璃和二維編碼器設計，還配有用于導電原子力 顯微鏡和電學缺陷分析的微型探針站。

? Park NX-TSH 可掃描高達 100 |jmx 100pm （x-y方向）和15 pm（z方向）。

?ParkNX-TSH有一個柔性卡盤，可容納大于 300毫米的大型和重型樣品，專為OLED、LCD 和其他大樣品分析而設計。

?將樣品固定在樣品臺上，并將安裝在龍門架上的探針掃描器移至 樣品表面所需的測量位置。

?PNX-TSH探針掃描器系統克服了樣品尺寸和重量的限制， 樣品會被固定在樣品臺上。

?PNX-TSH專為新一代顯示器工廠的應用需求研發設計， 大樣品尺寸可以測2200 mm。

?使用導電原子力顯微鏡， NX-TSH使用可選探針站測量樣品表面, 該探針站接觸樣品表面并向晶圓上的設備提供電流：

為大型納米級尺寸樣品測量提供解決方案

隨著對大型平板顯示器原子力顯微鏡計量需求的增加, NX-TSH通過利用探針掃描器和龍門式氣浮臺的 結合，克服了針對大型和重型樣品進行納米計量的巨大挑戰。

能獲得以下高分辨率圖像和數據:

•表面粗糙度

•臺階高度

•關鍵尺寸

•側壁信息

原子力顯微鏡可提供的，以及非破壞性的納米尺度樣品測量方法

•ParkNX-TSH在研究OLED, LCD時候，通過使用專有的龍門橋式系統可獲得可靠高分辨率的AFM圖像，大大提高產率。

•用戶在使用ParkNX-TSH時候，可獲得用于大型重型樣品如平板顯示玻璃和2D編碼器等的圖像和計量數據。

NX-TSH原子力顯微鏡技術

行業的低噪聲Z檢測器

我們的原子力顯微鏡配備了的0.02 nm低噪聲Z檢測器，從而達到精準的樣品形貌成像，無邊緣過沖，更無需校準。 使用ParkNX-TSH在為用戶節省時間的同時更能幫助用戶獲佳測量數據。

True Non-Contact™模式

True Non-Contact™^式是Park原子力顯微鏡系統的掃描模式，通過在掃描過程中防止針尖和樣品損壞, 從而產生高分辨率和準確的數據。

更快速的Z軸伺服使得真正的非接觸式原子力顯微鏡有更精確的反饋

· 減少針尖磨損-長時間高分辨率掃描

· 無損式探針-樣品接觸一?樣品受損小化

可滿足各種條件下，對各種樣品都能夠進行非接觸式掃描

接觸模式下，針尖在掃描過程中持續接觸樣品；輕敲模式下，針尖周期性地接觸樣品，而在非接觸模式下針尖不會接觸樣品。因此，使用非接觸模式具有幾個關鍵優勢。由于針尖銳度得以保持，在整個成像過程中會以高分辨率進行掃描。非接觸模式下由 于針尖和樣品表面可以避免直接接觸，避免損壞軟樣品。

此外，非接觸模式可以感知探針與樣品原子之間的作用力。探針接近樣品時產生的橫向力可以被檢測。 因此，在非接觸模式下使用的探針可以避免撞到樣品表面突然出現的高層結構。接觸和輕敲模式只能 進行探針底端力檢測，很容易受到這種撞擊傷害。

PaNX-TSH

創新性的原子力顯微鏡技術

具有閉環雙伺服系統的100pmx 100pm柔性導向XY掃描器

XY掃描器由對稱的二維撓曲和高強度壓電疊層組成，它小化的面外運動能提供高度的正交掃描，用快的響應來完成納米尺度上精確樣 品掃描。X丫掃描器的每個方向是都裝有兩個對稱的低噪聲位置傳感器，在大的掃描范圍及大樣品掃描時能發揮高效的正交性。

有低噪聲位置傳感器的15卩m高速Z掃描器

NX-TSH利用其超低噪聲Z檢測器代替了通常使用的非線性Z電壓信號，可為用戶提供高精度測量。業界的低噪聲Z檢測器取代了所施 加的Z電壓作為形貌信號。標準Z掃描器由高強度壓電堆驅動，并由撓曲結構引導，具有高共振頻率，可以實現更準確的反饋。使用可選 的長距離Z掃描儀，大Z掃描范圍可從1 5卩m擴展到40 pmo

自動換針器(ATX)

ATX通過模式識別自動定位針尖，并使用一種新的磁性方法來取放新舊探針。 激光光斑通過電動定位技術自動對準。

自動測量控制，簡易操作測量更精準!

NX-TSH配備自動化軟件，使用測量程序便可獲得精確的多點分析，并對懸臂梁調諧、掃描速率、 增益和設定點參數進行優化設置。

Park人性化設計的軟件可使用戶自由訪問NX-TSH的全部功能并獲得所需的測量值。

創建新的測量程序其實很簡單，從開始創建到能夠自動化運行只需大約10分鐘的時間， 而對創建過的程序進行修改的話也只需不到5分鐘。

電離系統可提供更穩定的掃描環境

我們創新的電離系統可快速有效地去除樣品環境中的靜電荷。

由于該系統始終生成并保持正負離子的理想平衡，因此可以 創建一個極其穩定的電荷環境，幾乎不污染周圍區域，并且 將在樣品處理過程中產生意外靜電的風險降至低。