scrubber全類型 尾氣處理設備-scrubber
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 蘇州銳納微光學有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 scrubber全類型
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/12/1 15:05:47
- 訪問次數 3909
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一想到半導體行業,大家想到的是機械生產,材料,電子電器,與污染兩個字似乎也沒有什么關系。但事實上,半導體生產過程中使用了大量有機物和無機物,包括許多有毒有害物質,對環境危害較為嚴重。如不通過尾氣處理設備對廢氣尾氣加以控制,將會產生較大的環境污染。
半導體尾氣處理器
等離子水洗Local Scrubber設備,干式等
該設備主要去除半導體Dry Etch、ThinFilm、Diffusion等晶圓工藝制程中使用或產生的PFC溫室氣體和有毒有害氣體,如:CF4、NF3、SF6、C2F6、CHF3、CH2F2等。
噴淋塔
對于含有酸性/堿性物質的廢氣 ,半導體廠封閉車間大都采用大型臥式洗滌塔進行廢氣處理。