LSCE-800接觸式曝光機
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- 公司名稱 河南海恒實業有限公司
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- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2022/9/13 14:41:33
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一、產品簡介：
接觸式曝光機指掩膜板直接與基板的光刻膠層接觸，曝光出來的圖形與掩膜板上的圖形分辨率相當精確，設備簡單，最小線寬可達800nm；可以配合使用多種型號的正光阻和負光阻；適用于從特殊大小的基片到4尺寸很寬廣范圍材料的紫外或深紫外光曝光?？蓮V泛應用于半導體制造，光電電子，平板，射頻微波，衍射光學，微機電系統，凹凸或覆晶設備和其他要求精細印制和精度對準的應用。
二、應用領域：
半導體制造；光電電子、平板；射頻微波，衍射光學；微機電系統；凹凸或覆晶設備等。
三、產品特點：
l 分辨率相當精確；
l 更廣范圍的紫外光波長選擇；
l 支持恒定光強或恒定功率模式；
l 廣泛應用于半導體、微電子、生物器件和納米科技領域；
四、詳細參數：
晶片尺寸 | 4英寸、6英寸、8英寸 |
曝光光源 | 365nm、380nm、395nm三種波長的LED集成光源 |
分辨率 | 3μm |
對準精度 | 300 nm |
縮放倍率 | 1：5 |
曝光方式 | 接觸式曝光 |
特征尺寸均勻性（CDU） | ±10% |
尺寸 | 170 cm*130 cm*180 cm |
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