小型化射頻電源

功率范圍: 50w  150w  300w

功率穩(wěn)定度 : ≦±1%

頻率: 13.56Mhz

輸出波形 : 正弦波

輸入AC: AC180-250V

AC電流 : 1A

冷卻 : 風(fēng)冷

控制方式 : 模擬接口  0-10V/DB15

尺寸: 133(寬）*270（深）*170（高）

重量: 5KG

應(yīng)用 : 小型等離子清洗，磁控濺射，美容

標(biāo)準(zhǔn)射頻電源

功率: 500W  600W  750W 

功率穩(wěn)定度 : ≦±1%

頻率: 13.56Mhz

輸出波形 : Sinusoidal waveform

AC電壓: AC180-250V

輸入電流 : 5A

冷卻: 風(fēng)冷

數(shù)字通訊: RS232,RS485 ；Modebus協(xié)議

模擬口控制:  0-10V/DB15

尺寸 :440（寬）*400(深）*89（高) Standard 2U

面板尺寸 : 480（寬）*89（高）

重量: 10KG/12KG/15KG

面板集成匹配器控制 

1KW  1250W  1.5KW射頻源

功率: 1000W  1250W 1.5KW（水冷）

功率穩(wěn)定度 : ≦±1%

頻率: 13.56Mhz

輸出波形 : Sinusoidal waveform

AC電壓: AC180-250V

輸入電流 :10A

冷卻: 風(fēng)冷

數(shù)字通訊: RS232,RS485 ；Modebus協(xié)議

模擬口控制:  0-10V/DB15

尺寸 :440（寬）*400(深）*89（高) 標(biāo)準(zhǔn)2U

面板尺寸 : 480（寬）*89（高）

重量: 15KG

面板集成匹配器控制 

應(yīng)用: 磁控濺射，ICP，刻蝕機(jī)，等離子清洗