FOM alphaSC 狹縫涂布機產品特點

• 豐富的可選配置以適應客戶的需求：

• 涂布頭定位傳感器

• 高清攝像頭用于監控涂布過程

• 多種固化功能（紅外、紫外、熱風、氮氣風刀）

• A4 及更大面積的真空吸盤

• 涂布頭的常規材料為不銹鋼。可選其他材料和合金（玻璃、鎢、鈦）。

• 金屬涂布頭表面可進行Tantaline耐腐蝕涂層處理

• 涂布頭溫度在0-80℃內可控

• 注射泵溫度可控

• 可與多種涂布方式聯用：如噴墨、微型凹版印刷、刮刀涂布等。

設計

直觀便捷的操作界面使得用戶得以自由的設計涂布工藝配方。涂布橋架經優化設計，以實現精確安裝和涂布頭的快速定位；經減震的真空樣品臺則為基片提供一個平整的剛性支撐；樣品臺在精密軌道上以設定速度移動，從而實現功能材料的精密涂布。綜合諸多細節全盤考慮和不斷優化才可能成功建立起一個穩定可靠的多功能研發平臺。各涂布元件的有機整合保證了多個涂布批次間的高可重復性，器件性能的高可比性 ，以及產品質量的高穩定性。

機械素質

該系統可選擇手動或自動定位涂布，以及手動或電機控制的自動高度和側移調整，分辨率為1µm。涂布速度在0.05到5.0m/min之間（無極調整）。平行度設置和涂布頭平直度<1%，保證材料涂布時的精確度。交叉定位精度<100µm。涂布頭多次拆裝維護后依然可保證高度（涂布頭與基材間隙）可重復性，從而保障批次可重復性。Metapor (TM) 真空吸盤面積為大于A4尺寸；平整度優于20µm；加熱溫度可達150℃，全表面溫度均勻性可達<1℃。

易于實驗重復和配方調用

該系統使用戶可以以高度可控，可預測的方式進行高精度功能薄膜的重復涂布，幫助研究人員深入理解精密涂布過程中的各種變量。