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電感耦合等離子體發射光譜儀簡稱ICP光譜儀，該光譜儀是進行液體中元素分析光譜儀的一種。ICP光譜儀可以分析元素周期表上絕大多數元素的定量分析，包括金屬元素，堿土金屬元素，高配置的ICP光譜儀還可以分析鹵素。ICP光譜儀屬于原子發射光譜儀，根據不同元素的譜線發射特征進行定量分析，根據譜線的發射強度來進行定量分析。ICP光譜儀只能進行液體進樣，固體可以通過酸溶解稀釋之后進行定量分析，所以ICP光譜儀的適應性很寬廣，可以應用于水質、環保、材料中的元素分析。早期的ICP光譜儀的檢測器是光電倍增管的，當代多數的ICP發射光譜儀都屬于CCD全譜檢測器的。光電倍增管檢測器的ICP屬于順序掃描型，光譜儀內部有一個運動機構，在檢測不同元素的時候會調整譜線的角度，從而可以掃描不同的元素；而CCD檢測器的ICP光譜儀，內部沒有運動機構，當復合譜線通過光柵的時候，經過光柵分光的譜線會被CCD全譜檢測器全部一起接受，通過全譜光電轉換，從而接受到所有譜線；ICP光譜儀的分析速度很快，而且檢出限也很低，線性范圍寬廣，適合于微量和常量元素的定量分析。但是ICP光譜儀的使用成本較高，特別是氬氣消耗量，很多顧客在購買的時候會和原子吸收分光光度計進行對比。如果日常分析量不算特別大，可以采用原子吸收分光光度計替代ICP，在購買成本和使用成本上會給用戶帶來節約。ICP光譜儀因為只能分析液體，所以在進行固體材料元素痕量分析的時候會表現出它的缺點，比如說當固體材料當中元素含量很低的時候，為了獲得液體樣本，需要對固體材料進行稀釋，有可能稀釋之后的樣本的含量已經達不到ICP的檢出限了，在這個時候就需要用ICP-MS進行分析了，質譜檢測器可以進一步提高儀器的檢出限。如果客戶需要對超高純金屬，比如5個9以上的材料的雜志進行分析，那么就要上GD-MS了，也就是輝光質譜儀。輝光質譜儀是直接對固體進行激發分析，在分析過程中不需要對材料進行液化處理，也就是不需要稀釋就可以直接分析，輝光質譜儀可以對高純金屬或者非金屬中的雜質進行超低含量分析。

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