VTC-600-2HD-1000 雙靶磁控濺射儀
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 VTC-600-2HD-1000
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/12/4 10:38:16
- 訪問次數 4563
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應用領域 | 環保,化工,生物產業,電子,交通 |
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雙靶磁控濺射儀主要特點:
1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
技術參數:
1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
技術參數:
產品名稱 | VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀 | |
產品型號 | VTC-600-1HD | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 | |
1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) | ||
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 | ||
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥 | ||
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 | ||
5、通風裝置:需要 | ||
主要參數 | 1、輸入電源:220V/50Hz | |
2、濺射靶數量:2 | ||
3、靶槍冷卻方式:水冷 | ||
4、極限真空度:7.4E-5pa | ||
5、真空室規格:Φ300×330 mm | ||
6、真空系統:VRD-16機械泵 FF-100/150渦輪分子泵 | ||
7、恢復真空:系統從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統短時間暴露大氣) | ||
8、充氣系統:2路質量流量計(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制 | ||
9、濺射靶規格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質不同厚度有所不同) | ||
10、樣品臺:Φ140mm/可旋轉(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃) | ||
產品規格 | 主機尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm |