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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>其它設備>其它化工機械設備>VTC-600-2HD-1000 雙靶磁控濺射儀

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VTC-600-2HD-1000 雙靶磁控濺射儀

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上海添時科學儀器有限公司是一家代理國內外儀器的經銷及技術服務的專業公司。國內管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發鍍膜,PECVD設備供應商!

公司所涉及的產品遍布大專院校、科研單位、工廠企業、商檢、農業、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業。

主要產品:生命科學儀器,化學分析儀器,光學儀器,物性測試儀器及設備,環保設備/流量儀表,行業專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農業和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術相關的實驗室科研儀器設備、實驗室耗材與試劑、實驗室設計、規劃、改建等服務。公司以“高品質,高服務,高信譽”贏得各地市場,各個領域的好評和歡迎。

未來,公司將引進和代理更多國內產品,并將研發自有品牌的產品以滿足市場不同的需求,以更高質量的產品,更高質量的服務,更高效率的運營,樸素而先進的管理理念,為客戶提供更優良的產品和服務!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

應用領域 環保,化工,生物產業,電子/電池,道路/軌道/船舶
    雙靶磁控濺射儀主要特點:

    1、配置兩個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜。

    2、可制備多種薄膜,應用廣泛。

    3、體積小,操作簡便。

    技術參數:

產品名稱 VTC-600-1HD單靶磁控濺射儀
產品型號 VTC-600-1HD
安裝條件 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風裝置:需要
主要參數 1、輸入電源:220V/50Hz
2、濺射靶數量:2
3、靶槍冷卻方式:水冷
4、極限真空度:7.4E-5pa
5、真空室規格:Φ300×330 mm
6、真空系統:VRD-16機械泵 FF-100/150渦輪分子泵
7、恢復真空:系統從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統短時間暴露大氣)
8、充氣系統:2路質量流量計(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制
9、濺射靶規格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質不同厚度有所不同)
10、樣品臺:Φ140mm/可旋轉(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)
產品規格 主機尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm

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