VTC-600-3HD 三靶磁控濺射儀
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 上海添時科學儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 VTC-600-3HD
- 產地
- 廠商性質 代理商
- 更新時間 2024/12/4 10:34:13
- 訪問次數 2543
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應用領域 | 醫療衛生,環保,化工,生物產業,電子 |
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三靶磁控濺射儀主要特點:
1、配置三個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據客戶需要任意調換)。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
4、整機模塊化設計,真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計,可根據用戶實際需要調整。
5、可根據用戶實際需要選擇電源,可以一個電源控制多個靶槍,也可多個電源單一控制靶槍。
技術參數:
1、配置三個靶槍,一個配套射頻電源用于非導電靶材的濺射鍍膜,兩個配套直流電源用于導電性材料的濺射鍍膜(靶槍可以根據客戶需要任意調換)。
2、可制備多種薄膜,應用廣泛。
3、體積小,操作簡便。
4、整機模塊化設計,真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設計,可根據用戶實際需要調整。
5、可根據用戶實際需要選擇電源,可以一個電源控制多個靶槍,也可多個電源單一控制靶槍。
技術參數:
產品名稱 | VTC-600-3HD雙靶磁控濺射儀 | |
產品型號 | VTC-600-3HD | |
安裝條件 | 本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設備配有自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地 3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)及減壓閥 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風裝置:需要 | |
主要參數 | 1、電源電壓:220V 50Hz 2、總功率:<2.5KW 3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司設備使用可達到 E-5mbar) 4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據實際需要提升溫度) 5、靶槍數量:3個 6、靶槍冷卻方式:水冷 7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質不同厚度有所不同) 8、直流濺射功率:500W(可選) 9、射頻濺射功率:300W/500W(可選) 10、載樣臺:Ø140mm,可根據客戶需求選配加裝偏壓功能,以實現更高質量的鍍膜。 11、載樣臺轉速:1rpm-20rpm內可調 12、保護氣體:Ar、N2等惰性氣體 13、進氣氣路:質量流量計控制2路進氣,1個流量為100 SCCM,1個流量為200 SCCM | |
產品規格 | 主機尺寸:500mm×560mm×660mm, | |
標準配件 | 1直流電源控制系統2套 2射頻電源控制系統1套 3膜厚監測儀系統1套 4分子泵(德國進口)1臺 5冷水機1臺 6冷卻水管(Ø6mm)4根 | |
可選配件 | 金、銦、銀、鉑等各種靶材 |