四點探針臺

       使用四點探針臺,機臺的手臂可快速更換模塊式探針頭,探針頭將針尖間距及壓力參數固定,當探頭的探針點在基板上時, 附有內藏彈簧的探針會將四根針同時收縮,在固定的下壓應力使測量的穩定性增加,外搭儀器Keithley 2400 /Keysight 2900可做測量.在制程改進方面只要將V/I這個數值彼此的位置互相比較或跟上一次V/I比較為參考,不需要再乘上一些其它系數做太復雜的演算.可以選購奕葉的軟件使操作簡單化及自動化,適用于半導體、太陽能、OLED、微機電、燃料電池等各式產業。

一、規格

l 探針間距：40mil，62.5 mil

l 探針壓力：80g

l 探針材質：BeCu Tungsten Carbide

l 高溫選配：High Temp. 200 ℃   

l 卡盤尺寸可選擇：6英寸、8英寸、12英寸；

l 材料：特氟龍

l 探針升降長度：30毫米

l 探針臺Z軸升降精度為：20微米

l 探針材質：碳化鎢、鈹銅合金

l 探針距離：40mil、50mil、62.5mil

l 彈簧探針力度：45grams、85grams、180grams

l 探針直徑：40.6微米 

l 尺寸：220mm長x420mm寬x250mm高

l 重量：20Kg

二、特點

l 可垂直上下移動

l 特殊恒定負載的彈簧探針

l 恒定的探針間距

l 可保持極大程度的重復性測試

l 探頭方便更換

l 探針臺頂部可調整Z軸移動

l 穩固的連接線在探針臺后面

l 轉接頭可選擇：Banana/ BNC/ Triaxial Female

l 卡盤可快速移動

l 可以配合加熱吸盤使用

l 卡盤尺寸可以選擇：6英寸、8英寸、12英寸

l 氣動的SR-4可用開關控制升降

三、應用

l 薄膜偏電阻 Sheet Resistivity

l 體積偏電阻 Volume Resistivity

l 導電率Doping Quality

l 金屬膜厚Metalization Thickness

l P/N極性P/N Typing

l 電流電壓I-V特性 V/I Measurement

四、其他應用

l 高阻低電流

l 溫度環境下量測RT~200℃

l 超高溫RT~1200 ℃

l 無氧環境下

l 微小間距小10 micron

l 大面積尺寸基板1200mm×900mm

l 儀器結合軟件

l 自動移動測量