MSP-30T 鍍金機 鍍膜儀特點：

●多用途，用于實驗的成膜裝置

●電極分離型試料臺避免試料損傷

●通過高速排氣和簡單操作實現高效成膜

●小型桌 面空間

●可以通過鐵磁場 形成多種金屬膜

●用渦輪增 壓泵清潔真空

●經濟實惠的特性

★MSP-30T 鍍金機 鍍膜儀是一種多用途，多金屬，實驗用離子濺射成膜裝置。易濺射的除了貴金屬以外，從Mo, W.等重金屬以及Ti, A1等輕金屬為目標，通過強磁場磁控管方式的電極形成膜。

★磁控管電極沿著目標金屬表面從外周向中心方向形成磁場，可以有效利用目標的整個表面。

★濺射空氣氣體Ar通過從目標電極和屏蔽電極之間的間隙噴出目標表面來提高濺射效率。

★因為用低電壓涂層的同時試料是浮動式的,試料損傷能小地抑制。

★試料臺配備快門, 在不穩定初期濺射中復蓋試料，在確認穩定狀態的基礎上，使試料上的成膜成為可能。

MSP-30T 磁控濺射 多用途簡單操作型磁控濺射成膜裝置