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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>離子注入設備>離子注入機>IH-860DSIC 半導體設備離子注入機

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IH-860DSIC 半導體設備離子注入機

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青島泰斯邁儀器設備有限公司是專業半導體設備公司,有完善的服務和銷售體系。專業經營各類進口機械設備,儀器儀表及各種配件的一站式進口產品綜合服務商.我司主要代理巴克拉克BACHARACH鹵素檢漏儀H25-IR PRO,冷媒回收機,冷媒分析儀;愛發科ULVAC-氦質譜檢漏儀;愛發科ULVAC-真空計;愛發科ULVAC-真空泵;新機械NEW-MACHINE-快速接頭;神港精機SHINKO SEIKI-真空泵;東洋克斯TOYOX-膠管;康泰克CONTEC-板卡,工控機;大進DAISHIN-自動焊接機,點火器;德國SEW-電機減速機;松村MORESCO-潤滑油;出光IDEMITSU-潤滑油;

 

半導體設備

產地類別 進口 應用領域 能源,電子

配備高溫ESC的SiC量產用高能離子注入裝置。

特長

·可以自動連續高溫處理注入

·1價離子可注入350keV,2價離子可注入700keV(可選擇1價離子可注入430keV,2價離子可支持860keV)

·在雙端站實現高吞吐量(A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等,可根據客戶的要求構建規格)

·可以進行鏈條注入,減輕操作員的負荷

·小型設計

·從試作到量產可以廣泛對應

特長

·可以自動連續高溫處理注入

·1價離子可注入350keV,2價離子可注入700keV(可選擇1價離子可注入430keV,2價離子可支持860keV)

·在雙端站實現高吞吐量(A系4“高溫ESC/B系3”高溫ESC、A系6“高溫ESC/B系6”常溫ESC等,可根據客戶的要求構建規格)

·可以進行鏈條注入,減輕操作員的負荷

·小型設計

·從試作到量產可以廣泛對應



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