X射線光電子能譜儀樣品元素分析是利用x射線產生電子發射的設備，不但為物理、材料、化學研究提供分子結構和原子價態方面的信息，還能為電子材料研究提供各種化合物的元素組成和含量、 化學狀態、分子結構、 化學鍵方面的信息。它在分析電子材料時，不但可提供總體方面的物理、化學信息，還能給出表面、微小區域和深度分布方面 的信息。 另外，因為 入射到樣品表面的X射線束是一種光子束，所以對樣品的破壞性非常小，可以用于固體樣品的表面組成分析，化學狀態分析等。

光電子能譜儀樣品元素分析是一種表面分析技術，可以提供元素的定性、半定量、化學成像、表面價態、深度剖析等信息。

主要用來表征材料表面元素及其化學狀態。

1、 表面元素定性分析

2、 表面元素的半定量分析

3、 固體表面分析

4、 化合物的結構

參數：1.XPS能量分辨率0.48eV(Ag 3d5/2);2.最小分析面積15μm;3.XPS成像空間分辨率3μm;4.測量不確定度0.2eV

固體樣品:不含揮發性組分，最小平面直徑不小于1mm，平面直徑不超過40mm，厚度不超過10mm，特殊尺寸請單獨說明。