實驗室檢測儀器，測試儀器設備等
| 應用領域 | 環保,生物產業,能源,電子 |
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等離子體化學氣相沉積系統設備
產品特點：
等離子源采用頻率為13.56MHz射頻發生器，同時具備物理清洗和化學清洗能力。
電源功率為200W，覆蓋常規處理需求
創新設計，可調整電極之間距離，調整等離子體濃度和強度，大提升處理效率和能力
真空腔體和管道連接件均采用316不銹鋼，電極6061航空鋁合金，配件材質精良，保證設備穩定高效運行
樣品處理面積可達125mm（大處理面積可達200mm，如有需求請咨詢銷售人員）
4.3寸工業級觸摸屏，操作簡單，可設置多種實驗參數
性能穩定可靠，質量穩定，自主研發，售后有保障
等離子體化學氣相沉積系統設備
產品參數:
1. 真空腔規格: 316不銹鋼腔體,直徑210mm*(深)230mm 約4L
2. 電極：兩個自適應平板電極，材質T6061鋁合金
3. 電極尺寸：120*135mm 間距20~75mm 可調
4. 等離子體發生器：RF射頻發生器，頻率：13.56MHz
5. 功率：0-200W連續可調，精度1W
6. 氣體控制：針式氣體流量閥，標配1路氣體
7. 控制方式：4.3寸工業控制觸摸屏
控制軟件功能：界面顯示實時工作狀態，
可顯示設置值與實際值，便于實時控制。
可自由設置等離子功率，通入氣體時間
全手動控制和全自動控制可選
8. 保護裝置：一鍵急停保護按鈕
等離子體表面處理系統Pluto-M?參數(標準配置) | |||
外部尺寸 | 404*640*515mm |
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真空腔尺寸 | 直徑210mm*230mm | 不銹鋼腔體 | |
電極尺寸 | 125*125mm | 多空自適應平板電極 | |
等離子體發生器 | RF射頻發生器，頻率：13.56MHz | 自適應阻抗匹配電源 | |
功率 | 0-200W連續可調 | 精度1W | |
真空計 | 熱電偶真空計 0-1000mT |
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供氣 | 1路氣體 | 6mm國標連接件（軟管） | |
控制方式 | 4.3寸觸摸屏 |
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可 選 配 置 | |||
ALC | 純鋁腔體 |
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RF-300 | 等離子體發生器 | 頻率13.56MHz ，0-300W自動阻抗匹配電源 | |
可調電極 | 可調節電極間距 | 電極間距20-60mm可調，改變等離子體場濃度特性 | |
CM裝置 | 沉積鍍膜模塊 | 用于改變表面特性： 1. 沉積CF材料，樣品表面可以具有憎水的特性 2. 沉積含苯材料，樣品表面起到絕緣防水的特性 3. 沉積含有羥基的材料，提高樣品表面和其他材料的結合效果。 | |
GP裝置 | 氣體純化裝置 |
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PPU | 粉體處理裝置 | 用于處理微納米級別顆粒 | |
| 氣體收集裝置 | 用于收集等離子體化學反應后的氣體 | |
| 小型氧氣發生器 | 用于制備氧氣，可取代氧氣罐 | |
| 氣體混合裝置 | 可以根據可以要求進行混氣設計 | |
| 感應耦合模塊 | 感應耦合等離子體裝置 | |
| 加熱電極模塊 | 電極可以加熱，室溫~200度可調。 | |
| 光譜儀模塊 | 可以增加光譜儀的接口，檢測等離子體光譜變化 | |
| 電極轉換模塊 | 可以自由變換電極設計，樣品可以放在射頻電極上，也可以放在地電極上。從而實現不同的處理效果。 | |
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