光學系統

– 視場可達 300µm

– 集成光收集系統: 由朗伯體發射的光子有30%離開顯微鏡(在整個視場中是恒定的)

– 消色差反射物鏡從180nm 到 1.6µm– 數值孔徑: NA 0.71 (f/0.5)

光檢測

– 色散光譜儀，帶有兩個成像出口(320毫米焦距)和一個3光柵轉臺(Attolight提供大量衍射光柵，以匹配您的應用)，電動入口和出口狹縫用于紫外可見光(200 nm–1100 nm)測的高速CCD攝像機， 速度>900光譜/秒

– 用于近紅外(600 nm–1700 nm)檢測的InGaAs攝像機速度>180光譜/秒

– 使用不同的探測器在200 nm–1700 nm范圍內進行全色檢測，速度>每像素50 ns

電子束感應電流(EBIC)

– 低噪音EBIC電路板

– 電流測量極限100fA

– 增益10^4到10^15V/A

– 帶寬 100kHz

樣品室與真空系統

– 無油真空泵組系統：用于電子槍和電子柱的吸氣劑離子泵和用于樣品室的渦輪分子泵

– 一般換樣時間：20 min

– 真空門上配有電子饋通

納米定位平臺

– 6自由度，可任意移動(與低溫恒溫器兼容）

– 行程: 25mm (X,Y), 3mm (Z), 3° 傾斜(X,Y), 10° 旋轉 (Z)

– 步進: 1 nm

– 整個行程范圍內100 nm的重復性

– 坐標系統，便于精確定位和移動

低溫恒溫系統

– 溫度范圍從 10K 到室溫，溫度精度0.1 K

– *的數字溫度控制器

– 溫度為10 K時，每小時漂移小于300nm

系統控制和檢測模塊

– 同時進行CL（高光譜或全光譜圖譜）、SEM和EBIC檢測

– 半自動操作模式

– 直觀的基于觸摸屏的圖形用戶界面（GUI），用于快速樣品定位和移動以及實時數據顯示，以檢查測量狀態

– 圖像分辨率為4K，高光譜圖譜的分辨率為512×512像素，電子束停留時間最小為每像素50 ns

數據分析

– Attolight提供了強大的分析和解決方案。更多信息請參考單獨的Attomap手冊。

– 工具配置和CL數據同時保存，以便于工具配置的再現

– 通過網絡輕松訪問受密碼保護的測量數據

– 導出為開放數據格式，為用戶選擇的數據分析軟件提供靈活性

系統外形規格

– 占地面積：1219 mm（長）× 1039 mm（寬）

– 推薦使用面積：2017 mm（長）× 2426 mm（寬）

– 重量：~1110 kg