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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>濕法工藝設備>濕法腐蝕/刻蝕設備>NR7-1000P NR9-1000P Futurrex紫外負性光刻膠NR7-1000P

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NR7-1000P NR9-1000P Futurrex紫外負性光刻膠NR7-1000P

具體成交價以合同協議為準

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武漢市洪山區萊博茲科學儀器經營部成立于2020年09月22日,注冊地位于武漢市洪山區珞珈山大廈主樓15層1506室,法定代表人為高珍珍。經營范圍包括網上銷售:教學儀器儀表、五金產品、金屬結構產品、辦公用品、計算機及輔助設備、實驗室化學試劑(不含有毒有害易燃易爆危險品)、實驗室用品、塑料制品、實驗室耗材;教學儀器儀表技術咨詢服務。(涉及許可經營項目,應取得相關部門許可后方可經營)



教學儀器儀表,實驗室化學試劑,實驗室用品耗材

供貨周期 一個月以上 應用領域 化工,能源

可在基本的水顯影劑中顯影的負性光刻膠
 
特性
厚度范圍:<0.1-120.0 µm
對波長小于380nm的靈敏度
優于表面拓撲的線寬控制
直側壁適合任何膜厚
能夠在單次旋涂中涂覆100 µm厚的膜
由于應用了150°C的軟烘烤,烘烤時間更短(對于厚膜至關重要)
出色的光速,可提高曝光量
有助于提高RIE中的功率密度,從而提高蝕刻速率和蝕刻產量
消除使用粘合促進劑


  RIE /離子耐高溫          厚度                           濕法蝕刻                           厚度
                                                                        增強附著力

    NR7-250P             0.2um-0.6um                     NR9-250P                       0.2um-0.6um
    NR7-1000P           0.7um-2.1um                     NR9-1000P                  0.7um-2.1um
    NR7-1500P           1.1um-3.1um                     NR9-1500P                  1.1um-3.1um
    NR7-3000P           2.1um-6.3um                     NR9-3000P                  2.1um-6.3um
    NR7-6000P           5.0um-12.2um                   NR9-6000P                  5.0um-12.2um
    NR5-8000             5.8um-100.0um                 NR9-8000P                  6.0μm-100um

耐溫性= 150°C 在低于120°C的處理溫           耐溫性= 100°C。
度下可在25°C剝離NR5和NR7系列抗蝕劑        NR9系列抗蝕劑具有增強的附著力
                                                                                   在25°C時易于剝離。

Futurrex NR5-8000,4.5:1 AR
抗蝕劑分辨率的示例
膜厚度:54µm
掩模尺寸:12µm線/間隔
曝光劑量:1100 mJ / cm 2。
焦點偏移:-15µm。
曝光工具:Ultratech步進土星
模型,i-line

另有:NR9G     g和h線曝光用粘度增強 具有高粘附性適用于電鍍及濕法蝕刻
           NR71G   g和h線曝光用于干法蝕刻中掩模應用并能作為隔層



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