產品概述
產品優勢
? 測量準確度重復性達到世界先流水平（中國計量科學研究院證書）
Nano-2000/3000 系列 3D 光學干涉輪廓儀建立在移相干涉測量（PSI）、白光垂直掃描干涉測量（VSI）和單色光
垂直掃描干涉測量（CSI）等技術的基礎上，以其納米級測量準確度和重復性（穩定性）定量地反映出被測件的表面粗
糙度、表面輪廓、臺階高度、關鍵部位的尺寸及其形貌特征等。廣泛應用于集成電路制造、MEMS、航空航天、精密加
工、表面工程技術、材料、太陽能電池技術等領域。

n 測量模式

移相干涉（PSI），白光垂直掃描干涉（VSI），單色光垂直掃描干涉（CSI）

n 樣 品 臺

150mm/200mm/300mm 樣品臺（可選配）

XY 平移：±25mm/150mm/200mm/300mm，傾斜：±5°

可選手動/電動樣品臺

n CCD 相機像素

標配：1280×960

n 視場范圍

560×750um（10×物鏡）

具體視場范圍取決于所配物鏡及 CCD 相機

n 光學系統

同軸照明無限遠干涉成像系統

n 光 源

高效 LED

n Z 方向聚焦

80mm 手動聚焦（可選電動聚焦）

n Z 方向掃描范圍 精密 PZT 掃描(可選擇高精密機械掃描，拓展達 10mm )

n 縱向分辨率

＜0.1nm

n RMS 重復性*

0.005nm，1σ

n 臺階測量**

準確度 ≤0.75％；重復性 ≤0.1%，1σ

n 橫向分辨率

≥0.35um（100 倍物鏡）

n 檢測速度

≤ 35um/sec , 與所選的 CCD