FORMTALYSURFPGI840型粗糙度輪廓儀結構說明

Form Talysurf PGI 840型粗糙度輪廓儀有一200mm水平 行程的驅動箱，該驅動箱可沿立柱在450mm范圍內垂直移動，以適應不同高度工件的測量。驅動箱內帶有很高直線度精度的水平基準，以保證測量精度。驅動箱下帶有PGI型傳感器，該傳感器具有大的量程和很高的分辨率。傳感器上帶有測針，測量時，測針在工件表面接觸并水平方向移動，測針的上下擺動量通過傳感器傳入電箱和計算機，由計算機軟件進行分析，并將結果通過打印機進行打印。儀器各軸的移動可通過操縱桿或計算機控制。

精密加工機器，比如單點金剛石車床，使得對公差要求很小的非球面鏡頭的加工成為可能，波前相差也降低到微不足道的數值。為了獲得這種高水平的精度，必須有相應水準的計量。FormTalysurf PGI840具有所需要的各種功能，該測量系統的測量結果可直接輸入到機床中，進而形成“反饋循環”。系統的低噪音(RMS僅為2nm)為市場提供了**的光學表面的測量能力。Form Talysurf PGI 840型粗糙度輪廓儀是一臺英國泰勒霍普森公司生產的專門用于各種光學零部件表面的形狀誤差測量和粗糙度分析，包括:平面、球面、非球面以及衍射光學表面輪廓測量。該系統具有與大多數光學加工設備接口能力，可以將測量數據應用于加工設備的優化處理。其主要功能如下:

        (1)形狀誤差測量，包括非球面形狀誤差測量、直線形狀誤差(直線度)和圓弧。
        (2)輪廓測量，包括半徑和角度分析;
        (3)表面粗糙度測量。

FORM TALYSURF PGI 840型粗糙度輪廓儀技術指標

1.掃描箱
(1)測量行程:  0.1mm-200mm
(2)驅動:  可使用操縱桿或計算機驅動
(3)移動/測量速度:  0.1/0.25/0.5/1.0/10.0mm/秒
(4)數據采樣間隔(X):  0.1-15mm測量長度時0.125μm
                              15- 30mm測量長度時0.25μm
                             30-200mm測量長度時1μm
(5)直線度: 0.11μm/200mm

2.機動立柱
(1)材料:環氧花崗巖
(2)掃描箱移動高度: 450mm
(3)驅動: 可使用操縱桿或計算機驅動
(4)垂直移動速度: 0.3/0.5/1.0/2.0/5.0/10.0mm/秒
3.基座、支架和防震支撐.
(1)工作臺材料: 環氧花崗巖
(2)工作臺尺寸: 760 X 500 X 120mm
(3)充氣防震支承，不要求有外接氣源。工作臺臺而上有兩個T型槽
4.傳感器
(1)類型:  位相光柵干涉(PGI)
(2)測量量程(Z):  8mm (使用60mm長測桿)
(3)分辨率: 8mm量程時0.8nm
(4)量程與分辨率之比: 10,000,000:1
(5)測量力: 使用60mm長2μm錐形金剛石測頭時為1mN

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