沃特塞恩提供的固態微波遠程等離子體源系統引進了德國前端的等離子體技術，主要由等離子體放電腔、高效率固態微波源、微波傳輸及調配器組成。

因固態微波遠程等離子體源的特殊結構，等離子體在反應區之外的等離子體放電腔中被激發，在保證高電離率與低重組率的同時，為用戶提供高濃度、低溫度、更均勻的活性自由基。有效的降低了電子、離子等高能活性離子對材料表面的轟擊損傷，活性自由基對樣品的作用占主導地位，有效控制反應均勻性，減少污染，是干法處理半導體材料的更優的方案。

產品特點 

> 采用全新LDMOS技術的固態微波源，頻率、功率穩定性高，使用壽命長，無需更換磁控管耗材

> 等離子體放電腔材質可選，可適用各種氣體

> 體積小、集成度高、便于更換

> *的放電腔設計，負載匹配度高，反射功率小，低于1%

> 系統運行氣壓適應范圍廣

> 電離率高、電離速度快