| 二次電子圖象分辨率 | 3.0nm(30kv)、8nm(15kv)、15.0nm(1.0kv)nm | 放大倍數 | 5-300000x |
|---|---|---|---|
| 加速電壓 | 0.5kv~30kvkV | 價格區間 | 150萬-200萬 |
| 儀器種類 | 鎢燈絲 | 應用領域 | 化工,生物產業,地礦,能源,電子 |
日本電子電鏡JSM-IT500是JEOL InTouchScope系列的新機型。
從選定興趣視野到生成報告，用于分析的軟件整合于一體，加快了作業速度！是一款無縫操作，使用方便的掃描電子顯微鏡。
日本電子電鏡JSM-IT500功能特點：
3個關鍵點 使日常分析更迅速！更簡便！
關鍵點2 實時分析 (僅限于A/LA)
在圖像觀察過程中，進行EDS分析。
EDS譜圖顯示在觀察窗口中， 如果給感興趣的元素加上alert ，會更容易發現。
關鍵點3 數據集中管理軟件
數據的查看、再分析以及從SEM圖像到EDS分析的全部數據報告可以一鍵生成。用數據管理圖標或者從測試結束的數據列表中啟動數據管理窗口并選擇數據，一鍵就能生成報告。
關鍵點1 Zeromag
從樣品座圖形和CCD圖像上可以尋找視野和分析位置。尋找視野非常輕松， 多視野連續分析的位置也很容易。
光學CCD圖像和SEM圖像的wan美結合和無縫操作使工作效率大大提高！
利用Zeromag能簡便自動地進行大區域SEM觀察和EDS分析
利用Zeromag設置蒙太奇
蒙太奇結果 4×4 （左：背散射電子成份像 右：Ca元素面分布圖）
樣品：混凝土 加速電壓：15kV 高真空模式 拍攝區域：約4mm×3mm
利用Zeromag很容易設定大面積的蒙太奇區域，有利于成像和觀察。蒙太奇功能在斷裂分析和大區域中識別異物等從大面積區域上獲取詳細信息時非常有效。
關鍵點2 實時分析 SEM和EDS一體化集成
在SEM圖像觀察過程中，進行EDS分析
利用Live Analysis功能，可在觀察窗口中進行被觀察區域的EDS分析。可以很容易地找到自己感興趣的元素，還能發現意料之外的元素。
①顯示存在于測試區域中的主元素。能元素并顯示“Alert”。
②會顯示分析區域的特征X射線譜圖和自動定性分析結果。
③一鍵點擊就可以在電鏡操作界面和詳細分析顯示界面間切換。
關鍵點3 數據集中管理軟件SMILE VIEW™ Lab 無縫創建報告
SMILE VIEW™ Lab是能集中管理與樣品臺位置聯動的CCD圖像、SEM圖像、EDS分析結果等數據并快速生成報告的數據管理器。查看以前獲得的數據、重新分析，生成報告等都非常簡便。
①顯示各個視野的名稱。
②能根據樣品名、創建日期和數據類型等搜索數據。
③在樣品座圖形或CCD圖像上顯示各個視野的位置。
④會列表顯示被選區域的元素圖、譜圖等的數據和定量分析結果等。
技術參數
| 分辨率 高真空模式 | 3.0 nm (30 kV) 15.0 nm (1.0 kV) |
| 低真空模式*1 | 4.0 nm (30 kV BED) |
| 圖像倍率 | ×5～×300,000 |
| 顯示倍率 | ×14～×839,724 |
| 電子槍 | 鎢燈絲 電子槍*自動合軸 |
| 加速電壓 | 0.3kV～30kV |
| 低真空壓力設定范圍※1 | 10～650Pa |
| 物鏡光闌 | ３檔 帶有ＸＹ微調功能 |
| 自動功能 | 燈絲調整、電子槍合軸調整，聚焦、像散、襯度/亮度調整 |
| 大樣品尺寸 | 200 mm直徑×75 mm高度 |
| 樣品臺 | 大型全對中式 |
| 圖像無縫拼接功能 | 標配 |
| 顯示測試位置座標 | 直徑203 mm |
| 標準菜譜 | 有（包括EDS條件 ※2） |
| 圖像模式 | 二次電子像、REF像、成份像*1、形貌像*1、陰影像*1等 |
| 獲取圖像的像素數 | 640x480 1,280x960 |
| OS | Microsoft®Windows®10 64bit |
| 顯示器 | 23寸觸摸屏 |
| EDS 功能*2 | 譜圖分析、定性分析/定量分析、線分析（水平線分析、任意方向線分析）元素面分布、電子束追蹤等 |
| 測長功能 | 有（兩點間距離、平行線間距離、角度、直徑等） |
| 數據管理功能 | SMILE VIEW™ Lab |
| 生成報告功能 | SMILE VIEW™ Lab |
| 語言切換 | 可以在UI 上（日語/ 英語） |
| 抽真空系統 | *自動 TMP：1 臺、RP：1臺或2臺※1 |
備注：Windows10 為美國微軟公司在美國及其它國家的注冊商標或商標
主要選配件
背散射電子檢測器（BED) ※1
低真空二次電子檢測器（LSED)能譜儀(EDS)※2
波譜儀（WDS）
電子背散射衍射檢測器(EBSD)
加載互鎖真空室（預抽室）
樣品臺導航系統（SNS）
樣品室觀察系統(CS)
操作面板
3D測量軟件操作臺
※1 為JSM-IT500LV/LA的標配功能。
※2 為JSM-IT500LV/LA的標配功能。
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