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FR-pRo: 按需可靈活搭建的薄膜特性表征工具

晶圓涂層測厚、圓晶薄膜厚度測量儀

一、產品簡介：

     FR-pRo: 按需可靈活搭建的薄膜特性表征工具 是一個模塊化和可擴展平臺的光學測量設備，用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層.FR-pRo 是為客戶量身定制的，并廣泛應用于各種不同的應用 。               FR-pRo:晶圓涂層測厚、圓晶薄膜厚度測量儀是薄膜特性表征工具/光學參數測量/反射率測量/厚度測量/透射率測量，應用于半導體材料厚度測量、非金屬材料厚度測量、光刻膠、光學掩膜、介電薄膜、晶圓表面涂層厚度測量、圓晶薄膜厚度測量、硅片表面涂層材料厚度測量，研究透光性材料的工具。

      FR-pRo 可由用戶按需選擇裝配模塊，核心部件包括光源，光譜儀（適用于 200nm-2500nm 內的任何光譜系統）和控制單元，電子通訊模塊
此外，還有各種各種配件，比如:
? 用于測量吸收率/透射率和化學濃度的薄膜/試管架,
? 用于表征涂層特性的薄膜厚度工具,
? 用于控制溫度或液體環境下測量的加熱裝置或液體試劑盒,

? 漫反射和全反射積分球

通過不同模塊組合，終的配置可以滿足任
何終端用戶的需求 


 

二、應用領域

o   彎曲基材（襯底）上的硬/軟涂層

o   聚合物涂層、粘合劑等

o   生物醫學（ parylene—— 派瑞林,氣泡壁厚,等等 )

O    半導體生產制造：(光刻膠, 電介質,光子多層結構， poly-Si,Si, DLC )
o     光伏產業
o     液晶顯示
o     光學薄膜
o     聚合物
o     微機電系統和微光機電系統
o     基底: 透明 (玻璃, 石英, 等等) 和半透明
 

三、FR-pRo:晶圓涂層測厚、圓晶薄膜厚度測量儀 按需可靈活搭建的薄膜特性表征工具產品特點
o 單點分析(無需預設值）
o 動態快速測量
o 包括光學參數(n和k，顏色)
o 為演示保存視頻
o 600 多種的預存材料
o 離線分析
o 免費軟件更新 

四、技術參數

五、FR-pRo: 按需可靈活搭建的薄膜特性表征工具工作原理

  白光反射光譜（WLRS）測量方法是在一定波長范圍內，分析垂直于樣品表面的入射光和從單層或多層堆疊薄膜反射的反射光譜的分析方法。

由界面&表面產生的反射光譜被用于確定獨立和附著于基底（在透明或部分/全反射基底上）的堆疊膜層的厚度、光學常數（n&k）等。

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