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化工儀器網>產品展廳>物理特性分析儀器>測厚儀>白光干涉測厚儀>OPTM 薄膜測厚儀

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OPTM 薄膜測厚儀

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      大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學特性評價·檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源·照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價·檢查。

  以高速·高精度·高可靠性且有市場實際應用的分光器MCPD系列為基礎, 在中國的顯示器 市場上有著20年以上銷售實例, 為許多廠家在研究開發、生產部門所使用。并且在光源·照明 相關方面,對研究機構、各個廠家的銷售量在逐步擴大。

  在中國的蘇州有設立售后服務點,為了能迅速且周到的為顧客服務而努力。

  我公司的母公司日本大塚電子集團,隸屬于大冢集團, 一直以來都謹守大冢集團 的企業理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢為人類的健康創造革新的產品),不斷的推出創新產品,面向開展業務,為社會作出貢獻。

 

zeta電位?粒徑?分子量測量系統,晶圓在線測厚系統,線掃描膜厚儀,顯微分光膜厚儀,線掃描膜厚儀,分光干涉式晶圓膜厚儀,相位差膜?光學材料檢測設備,非接觸光學膜厚儀,小角激光散射儀,多檢體納米粒徑量測系統,量子效率測量系統

產地類別 進口 價格區間 50萬-100萬
應用領域 化工,電子,印刷包裝,汽車,電氣

 OPTM series薄膜測厚儀

 

大塚電子薄膜測厚儀使用顯微光譜法在微小區域內通過反射率進行測量,可進行高精度膜厚度/光學常數分析。

可通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學材料和多層膜。 測量時間上,能達到1/點的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學常數的軟件

 

特點

  • 頭部集成了薄膜厚度測量所需功能
  • 通過顯微光譜法測量高精度反射率(多層膜厚度,光學常數)
  • 11秒高速測量
  • 顯微分光下廣范圍的光學系統(紫外至近紅外)
  • 區域傳感器的安全機制
  • 易于分析向導,初學者也能夠進行光學常數分析
  • 獨立測量頭對應各種inline客制化需求
  • 支持各種自定義

 

 

OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范圍

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范圍

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

測定時間

1秒 / 1點

光斑大小

10μm (小約5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規格

氘燈+鹵素燈  

鹵素燈

電源規格

AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規格之主體部分)

重量

約 55kg(自動樣品臺規格之主體部分)

 

測量項目:

  • 反射率測量
  • 多層膜解析
  • 光學常數分析(n:折射率,k:消光系數)

 

 



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