RE-200 半導體行業低相位差高速檢查設備
- 公司名稱 大塚電子（蘇州）有限公司
- 品牌 OTSUKA/日本大冢
- 型號 RE-200
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/6/11 16:37:32
- 訪問次數 587
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zeta電位?粒徑?分子量測量系統，晶圓在線測厚系統，線掃描膜厚儀，顯微分光膜厚儀，線掃描膜厚儀，分光干涉式晶圓膜厚儀，相位差膜?光學材料檢測設備，非接觸光學膜厚儀，小角激光散射儀，多檢體納米粒徑量測系統，量子效率測量系統
| 產地類別 | 進口 | 價格區間 | 50萬-80萬 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,電子,印刷包裝,電氣 |
半導體行業低相位差高速檢查設備 RE-200
半導體行業低相位差高速檢查設備適用于光軸的高精度管理！ 3σ≦0.02°
低相位差測量
產品信息
特 點
• 可測從0nm開始的低（殘留）相位差
• 光軸檢出同時可高速測量相位差(Re.)
（相當于0.1秒以下來處理）
• 無驅動部，重復再現性高
• 設置的測量項目少，測量簡單
• 測量波長除了550nm以外，還有各種波長
• Rth測量、方位角測量
（需要option的自動旋轉傾斜治具
• 通過與拉伸試驗機組合，可同時評價膜的偏光特性和光弾性
(本系統屬特注。）
測量項目
• 相位差（ρ[deg.], Re[nm]）
• 主軸方位角（θ[deg.]）
• 橢圓率（ε）?方位角（γ）
• 三次元折射率（NxNyNz）
用 途
• 位相差膜、偏光膜、橢圓膜、視野角改善膜、各種功能性膜
• 樹脂、玻璃等透明、非均質材料（玻璃有變形，歪曲等）
原 理
• 什么是RE-200
• RE-200是光子結晶素子（偏光素子）、CCD相機構成的偏光計測模塊和透過的偏光光學系相組合，可高速且高精度的測量位相差（相位差）、及主軸方位角。CCD相機1次快門獲取偏光強度模式，沒有偏光子旋轉的機構，系統整體上是屬于小型構造，長時間使用也能維持穩定的性能。
仕 樣
型號 | RE series |
|---|---|
樣品尺寸 | 小10×10mm ～大100×100mm |
測量波長 | 550nm （標準仕樣）※1 |
相位差測量范圍 | 約0nm ～約1μm |
軸檢出重復精度 | 0.05°（at 3σ） ※2 |
檢出器 | 偏光計測模塊 |
測量光斑直徑 | 2.2mm×2.2mm |
光源 | 100W 鹵素燈或 LED光源 |
本體?重量 | 300(W) × 560(H) ×430（D) mm 、約20kg |
Option
• Rth測量、方位角測量※治具本體（旋轉：180°, 傾斜：±50°）
• 動旋轉傾斜治具
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