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FSM128 薄膜應力及基底翹曲測試設備 500TC和900TC

1. 簡單介紹

  FSM 128 薄膜應力及基底翹曲測試設備:美國Frontier Semiconductor(FSM)成立于1988年，總部位于圣何塞，多年來為半導體行業等高新行業提供各式精密的測量設備，客戶遍布*, 主要產品包括:光學測量設備: 三維輪廓儀、拉曼光譜、 薄膜應力測量設備、 紅外干涉厚度測量設備、電學測量設備:高溫四探針測量設備、非接觸式片電阻及 漏電流測量設備、金屬污染分析、等效氧化層厚度分析 (EOT)

2. 產品簡介

  FSM128 薄膜應力及基底翹曲測試設備

  在襯底鍍上不同的薄膜后, 因為兩者材質不一樣，以及不同的材料不同溫度下特性不一樣, 所以會引起應力。 如應力太大會引起薄膜脫落, zui終引致組件失效或可靠性不佳的問題。 薄膜應力激光測量儀利用激光測量樣本的形貌,透過比較鍍膜前后襯底曲率半徑的變化, 以Stoney’s Equation計算出應力, 是品檢及改進工藝的有/效手段。

  1) 快速、非接觸式測量

  2) 128型號適用于3至8寸晶圓

  128L型號適用于12寸晶圓

  128G 型號適用于470 X 370mm樣品，

  另可按要求訂做不同尺寸的樣品臺

  3) 雙激光自動轉換技術

  如某一波長激光在樣本反射度不足，系統會自動使用

  另一波長激光進行掃瞄，滿足不同材料的應用

  4) 全自動平臺，可以進行2D及3D掃瞄(可選)

  5) 可加入更多功能滿足研發的需求

  電介質厚度測量

  6) 500 及 900°C高溫型號可選

  7) 樣品上有圖案亦適用

3. 規格

  1) 測量方式: 非接觸式(激光掃瞄)

  2) 樣本尺寸:

  FSM 128NT: 75 mm to 200 mm

  FSM 128L: 150 mm/ 200 mm/ 300mm

  FSM 128G: /大550×650 mm

  3) 掃瞄方式: 高精度單次掃瞄、2D/ 3D掃瞄(可選)

  4) 激光強度: 根據樣本反射度自動調節

  5) 激光波長: 650nm及780nm自動切換(其它波長可選)

  6) 薄膜應力范圍: 1 MPa — 4 GPa

  (硅片翹曲或彎曲度變化大于1 micron)

  7) 重復性: 1% (1 sigma)*

  8) 準確度: ≤ 2.5%

  使用20米半徑球面鏡

  9) 設備尺寸及重量:

  FSM 128: 14″(W)×22″(L)×15″(H)/ 50 lbs

  FSM128L:14″(W)×26″(L)×15″/ 70 lbs

  FSM128G:37″(W)×48″(D)×19″(H)/ 200 lbs

  電源 : 110V/220V, 20A

薄膜應力及基底翹曲測試設備 500TC和900TC：

：

型號：500TC

型號：900TC

岱美有限公司成立于1989年，是數據存儲，半導體，光學，光伏和航空航天行業制造商和創新研發機構的*設備分銷商。在21世紀初期，Dymek已從我們在香港的總部擴展到亞洲，以滿足客戶的多樣化需求。在當今化的市場中，我們的客戶有連接東南亞各國的綜合供應鏈已經成為基本。我們我們的專業人員隨時準備與他們會面。

我們總部設在香港，在中國（北京和上海，以及廣東東莞）擁有強大的業務。我們還在馬來西亞，新加坡，中國臺灣，菲律賓和泰國的東南亞設有分支機構。我們所有的分支機構都已建立數十年，我們的許多客戶對我們與他們建立的長達數十年的合作關系感到滿意。

我們的目標是建立持久的關系，滿足東南亞快速增長企業的需求。對于我們的客戶，我們不僅提供設備，還提供建議和技術指導，以及時了解我們不斷發展的行業的新發展。對于我們的供應商，我們提供了深入的銷售網絡和數十年的東南亞復雜商業環境導航經驗。我們將本地客戶與來自歐洲，美國，日本和韓國的*設備連接起來。

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