MDPlinescan
- 公司名稱 束蘊儀器(上海)有限公司
- 品牌其他品牌
- 型號
- 所在地上海市
- 廠商性質代理商
- 更新時間2025/3/19 7:30:18
- 訪問次數 1903
聯系方式:朱17621138977 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
應用領域 | 醫療衛生,環保,食品/農產品,化工 |
---|
應用范圍:靈活的OEM設備,用于多種不同樣品的在線壽命測量:從單晶硅到多晶硅錠,從生成態晶圓片到不同鍍層或金屬化晶圓的過程控制。標準軟件接口,易于連接到許多處理或自動化系統。
在線面掃和單點檢測
MDPlinescan是一個易于集成的OEM單元,可集成到各種自動化的檢測線。關鍵的測量參數是實時的載流子壽命掃描。
樣品通常由測量頭下的傳送帶或機器人系統來輸送。應用實例從晶錠到晶圓的檢測,每個晶圓的測量速度小于一秒。
電池生產線上的來料質量檢查是用的一種應用方向,同樣,鈍化和擴散后的工藝質量檢查也能用到此款產品。
還有許多其他的專門應用可能性。由于其易于集成,只需要以太網連接和電源。
特性
允許單片調查
配方的基礎測量
監控材料質量、工藝的完整性和穩定性
優勢
在μ-PCD或穩態激發條件下測量少數載流子壽命和電阻率是這個工具的重點。
用于集成在生產線的多晶或單晶硅晶圓在不同的準備階段,直到設備,磚或錠。
小尺寸和標準的自動化接口使集成變得容易。重點是長時間的可靠性和測量結果的精度。
技術參數
樣品 | 多晶或單晶晶圓原料, 晶錠,晶胞 |
樣品尺寸 | 大約50 x 50 mm2 |
電阻率 | 0.2 - 103 Ohm cm |
conduction type | p, n |
材質 | 硅晶圓,部分或*加工的晶圓,復合半導體等 |
測量屬性 | 載流子壽命 |
硬件接口 | ethernet |
大小 | 174 x 107 x 205 mm, 重量t: 3 kg |
電源 | 24 V DC, 2 A |
該廠商的其他產品
- 德國Freiberg--MDPpro MDPpro晶圓片/晶錠壽命檢測儀--少子壽命
- Freiberg--MDPmap MDPmap晶圓片壽命檢測儀--少子壽命測試
- 弗萊貝格--MDPlinescan MDP在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測儀
- Freiberg--MDPinline MDP高速晶圓片在線面檢測儀--少子壽命檢測
- Freiberg--MDPinline ingot MDP晶錠在線面掃檢測儀--進口少子壽命測試
- Freiberg-MDPicts MDP微波探測光誘導電流瞬態譜儀--少子壽命
- 臺式PID(Potential Induced Degradation)
- MDPpro 晶圓片晶錠壽命檢測儀