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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>WBMW-DLZ3 巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積

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WBMW-DLZ3 巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積

具體成交價以合同協議為準

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唐山任氏巨源微波儀器有限公司是從事實驗室級和工業級微波能加熱儀器研發、制造和銷售的高科技企業,公司注冊資金1000萬。擁有雄厚的技術實力。董事長任亞利與國內大學強強聯手,推出了微波材料學工作站等一系列產品,在微波能應用領域走在了世界前沿

近年來,在國家煤炭、石油等資源愈發匱乏的大環境下,微波具有高效節能等顯著特點。以往歐美發達國家采用的微波加熱設備,只能加熱吸收微波的材料。而“任氏巨源”研發的混合加熱技術解決了上述問題,在上*提出了“微波材料學”、“混合加熱-傳統電加熱與純微波加熱”、“微波材料學工作站”等一系列新概念。使微波能節能產品應用領域更為廣泛。該產品具有功能全,占用空間小,設計美觀,性能優,節能*等特點。

目前公司主要產品有:高低溫微波馬弗爐、微波燒結爐、灰化爐、坩堝爐、真空&氣氛管式爐、旋轉加熱爐、微波化學反應器、原位宏量熱重分析儀、原位動力學分析、微波電弧爐、多溫區加熱爐等。上述產品既可以單獨使用,也可將這些功能集中在一臺儀器上,并且推出功能針對性強的微區靶向加熱器、高溫加壓壓縮爐、高溫拉伸爐等產品,統稱為微波材料學工作站。該工作站突顯的技術優勢即采用三種加熱方式:純微波加熱、傳統電加熱、兩者混合加熱(功率可調)。其升溫速度快,能達到1000℃/min,且降溫速度也能達到500℃/min。它將材料的多種合成制備手段與分析測試方法集于一身,將材料合成與處理中的微波催化效應相結合。被譽為“移動的材料科學研究實驗室”、“便攜式材料科學實驗平臺”、“實驗方案和數據的倍增器”。

用戶主要為各大高校、科研機構、企業實驗室等,并可為高校教授和博士研究生等科研工作者量身定制微波儀器,幫助其完成科學研究

公司擁有知識人才和專業技術人員組成的研發團隊,并且擁有完善的生產體系和員工隊伍。目前我公司微波材料學工作站的年生產能力可達1000臺\套以上。歡迎各界人士來我公司參觀考察,我們將竭誠為您服務

歡迎廣大用戶惠顧考察、垂詢或登陸我公司網站:http://www.rsjywb.com了解詳情。技術支持:15230983056董工


微波材料學工作站

巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積












一、巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積

   具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內部電極污染等特點,微波等離子體材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學沉積、刻蝕以及甲烷轉化制氫、長余輝發光材料、陶瓷燒結碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領域有廣泛應用

二、應用特點

1. 垂直反應器的設計可使等離子密度高;對稱的微波發生裝置,使產生的等離子環境更均勻。
2. 諧振腔內沒有內部電極,可以避免電極放電所產生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產生等離子體密度高、區域大,穩定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。

三、巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積技術參數:

型號/model

WBMW-DLZ3

可加熱材料

非易燃易爆的任何材料

微波頻率

2.45GHZ±50MHz

加熱方式

純微波加熱

射頻功率/KW

3  (功率可調)

工作溫度/℃

1200

*工作溫度/℃

≤1100

溫度測試元件

微波場傳感器/紅外測溫可選

控溫精度/℃

±2(微波場傳感器)

石英管尺寸(外徑/內經X長度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系統配置(可選)

簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭;

10-1Pa真空機械泵及真空計;

10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計;

10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計;

升溫速率(標配)

0~1000℃/min可任意設定,可編程、分段加熱

外型尺寸(長x寬x高)/mm

10007501830

微波泄漏量/  mW/㎝

≤0.4

提供相關配件

防護 手套×1中文說明書×1

保質期

整機免費保修1





























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