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化工儀器網(wǎng)>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設備>化學氣相沉積設備>WBMW-DLZ3 巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積

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WBMW-DLZ3 巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積

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唐山任氏巨源微波儀器有限公司是從事實驗室級和工業(yè)級微波能加熱儀器研發(fā)、制造和銷售的高科技企業(yè),公司注冊資金1000萬。擁有雄厚的技術實力。董事長任亞利與國內大學強強聯(lián)手,推出了微波材料學工作站等一系列產品,在微波能應用領域走在了世界前沿

近年來,在國家煤炭、石油等資源愈發(fā)匱乏的大環(huán)境下,微波具有高效節(jié)能等顯著特點。以往歐美發(fā)達國家采用的微波加熱設備,只能加熱吸收微波的材料。而“任氏巨源”研發(fā)的混合加熱技術解決了上述問題,在上*提出了“微波材料學”、“混合加熱-傳統(tǒng)電加熱與純微波加熱”、“微波材料學工作站”等一系列新概念。使微波能節(jié)能產品應用領域更為廣泛。該產品具有功能全,占用空間小,設計美觀,性能優(yōu),節(jié)能*等特點。

目前公司主要產品有:高低溫微波馬弗爐、微波燒結爐、灰化爐、坩堝爐、真空&氣氛管式爐、旋轉加熱爐、微波化學反應器、原位宏量熱重分析儀、原位動力學分析、微波電弧爐、多溫區(qū)加熱爐等。上述產品既可以單獨使用,也可將這些功能集中在一臺儀器上,并且推出功能針對性強的微區(qū)靶向加熱器、高溫加壓壓縮爐、高溫拉伸爐等產品,統(tǒng)稱為微波材料學工作站。該工作站突顯的技術優(yōu)勢即采用三種加熱方式:純微波加熱、傳統(tǒng)電加熱、兩者混合加熱(功率可調)。其升溫速度快,能達到1000℃/min,且降溫速度也能達到500℃/min。它將材料的多種合成制備手段與分析測試方法集于一身,將材料合成與處理中的微波催化效應相結合。被譽為“移動的材料科學研究實驗室”、“便攜式材料科學實驗平臺”、“實驗方案和數(shù)據(jù)的倍增器”。

用戶主要為各大高校、科研機構、企業(yè)實驗室等,并可為高校教授和博士研究生等科研工作者量身定制微波儀器,幫助其完成科學研究

公司擁有知識人才和專業(yè)技術人員組成的研發(fā)團隊,并且擁有完善的生產體系和員工隊伍。目前我公司微波材料學工作站的年生產能力可達1000臺\套以上。歡迎各界人士來我公司參觀考察,我們將竭誠為您服務

歡迎廣大用戶惠顧考察、垂詢或登陸我公司網(wǎng)站:http://www.rsjywb.com了解詳情。技術支持:15230983056董工


微波材料學工作站

巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積












一、巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積

   具有高電離度、高電子溫度和電子密度、適用壓強范圍寬、無內部電極污染等特點,微波等離子體材料表面處理、金剛石薄膜制備、化學沉積、刻蝕以及甲烷轉化制氫、長余輝發(fā)光材料、陶瓷燒結碳納米管修飾[3]、納米粉體合成、處理水污染等領域有廣泛應用

二、應用特點

1. 垂直反應器的設計可使等離子密度高;對稱的微波發(fā)生裝置,使產生的等離子環(huán)境更均勻。
2. 諧振腔內沒有內部電極,可以避免電極放電所產生的污染,而且,它的運行氣壓范圍比較寬,所產生等離子體密度高、區(qū)域大,穩(wěn)定度高,且不與真空器壁接觸,從而避免了器壁對薄膜的污染。

三、巨源實驗室常用微波等離子體化學氣相沉積技術參數(shù):

型號/model

WBMW-DLZ3

可加熱材料

非易燃易爆的任何材料

微波頻率

2.45GHZ±50MHz

加熱方式

純微波加熱

射頻功率/KW

3  (功率可調)

工作溫度/℃

1200

*工作溫度/℃

≤1100

溫度測試元件

微波場傳感器/紅外測溫可選

控溫精度/℃

±2(微波場傳感器)

石英管尺寸(外徑/內經(jīng)X長度)/mm

φ102/φ92x1000

真空系統(tǒng)配置(可選)

簡單機械泵抽真空和不銹鋼法蘭;

10-1Pa真空機械泵及真空計;

10-2Pa真空機械泵、擴散泵及真空計;

10-3Pa真空機械泵、分子泵及真空計;

升溫速率(標配)

0~1000℃/min可任意設定,可編程、分段加熱

外型尺寸(長x寬x高)/mm

10007501830

微波泄漏量/  mW/㎝

≤0.4

提供相關配件

防護 手套×1中文說明書×1

保質期

整機免費保修1



























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