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干式真空泵
LS系列
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ulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修

LulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修S120
一種干式真空泵，可實現高速排氣和低功耗。四種型號的產品陣容使您可以根據設備的尺寸和工作條件選擇具有排量的泵。

使用方法
■高速排氣
●接近大氣壓的高排氣速度減少了排氣時間
■低功耗
●通過ECO-SHOCK技術（C規(guī)格）實現低功耗●
極限壓力下的功耗為0.6kW或更低（LS120A-C）
■低噪聲
配備的消音器●標準
在●終壓力時的噪聲值是61分貝的（a）以下
■運行成本降低
了傳統上需要●軸封氣體是不必要
※大號規(guī)范能夠流動吹掃氣體可能
■所有4種型號的產品陣容
●排氣速度為120至1200m3 / h級*與機械增壓泵組合
●可以根據應用選擇具有佳排氣量的型號
規(guī)格書
可以根據應用選擇2種類型的
C規(guī)格：清潔工藝（LS *** AC）
功能：內置ECO-SHOCK的低功耗類型
應用：
濺射/沉積/粘接/裝載清潔排氣（如排氣和N2排氣）鎖室/ TMP輔助等
。L規(guī)格：輕型工藝（LS *** AL）
特征：具有表面處理和吹掃功能的輕型工藝
應用：
真空干燥/冷凍干燥/灰化，用于輕型工藝，例如水蒸氣和揮發(fā)性化學液體廢氣/一般工業(yè)用途等

ulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修

ulvacLS系列愛發(fā)科真空泵維修維修

干泵是在真空室內不使用油或液體的真空泵，因此可以獲得干凈的真空。可在從大氣壓到極限壓力的廣泛范圍內使用。

干式真空泵LS系列
LS120
一種干式真空泵，可實現高速排氣和低功耗。四種型號的產品陣容使您可以根據設備的尺寸和工作條件選擇具有佳排量的泵。

干式真空泵CR系列Ver.B
CR
干式真空泵CR系列VerB是獲得標準（CE，cTUVus）的風冷羅茨型干式真空泵。排氣室內不使用油，并且轉子和氣缸以非接觸方式運行，因此可以長時間穩(wěn)定運行。

干式真空泵GR系列
GR90
干式真空泵GR系列基于成熟可靠的LR / HR系列，為一般行業(yè)設計了簡單的結構。

干式真空泵LR / HR / UR系列
LR180
干式真空泵LR / HR / UR系列通過使用我們*的高溫浸泡技術有效地利用壓縮熱，從而在CVD和蝕刻等堅硬工藝中實現了高耐久性。在輕型過程中，與ECO-SHOCK結合使用，可以將功耗降低約80％。所有型號均兼容CE（可選），以提高可維護性并降低噪音。有關ECO-SHOCK的更多信息，請參閱“相關信息”。