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自動氦氣檢漏儀（SUPER-ALT）

ALT•S系列

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ulvacALT•S系列愛發科檢漏儀維修

ALT_S_系列

一種使用氦氣作為檢測氣體的泄漏測試設備。自動氦氣泄漏測試儀結合了采用專有技術的新機制，可實現高速處理并進一步節省空間。

特色功能

通過在測試臺上使用轉臺，更換工件的工作時間減少了一半。

氦氣填充過程和泄漏測試過程在不同位置同時進行，大大減少了處理時間。

配備有氦檢漏儀“Héliot酒店-ZERO”，檢查從制品泄漏的氦氣在真空排氣※可能要被檢查

※“在真空排氣快速氣體分析機構”

高速處理可以節省空間，例如減少測試箱的數量。

腔室數量可以減少到一個，無需移動工作位置，提高了工作效率

通過將設備集成到一個基座（單元）中來縮短現場啟動時間

易于維護，因為可以將泵單元從主機中拉出

使用方法

汽車領域：壓縮機，汽車空調，機油冷卻器，EGR冷卻器

空調制冷設備：壓縮機，熱交換器，膨脹閥

機械（精密）領域：各種閥門，壓力表，航空儀表，壓力調節開關

規格書

系統靈敏度 10×1.0 -7帕•中號3 / S

箱體尺寸 φ340×H500（45L）

疏散系統 主排氣系統 PRC-012A +（EC-803 x 2）

測試系統 氦氣檢漏儀 零升空

處理能力 40秒/ 1室（機器時間）

效用 電源供應 AC200V20KVA

氦氣 0.1-0.9MPa

壓縮空氣 0.5兆帕

冷卻水 0.18M 3 / H（15℃?30℃）

選件 氦氣自動填充機構

氦氣充回收機制

氦氣混合/收集機制

ñ 2 ·干燥空氣的高壓發生器

運輸系統

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產品類別

濺射設備

CVD設備

真空蒸鍍設備

氣相沉積聚合設備

灰化設備

蝕刻設備

離子注入機

退火設備

真空爐

收卷裝置

冷凍真空干燥機

真空蒸餾設備

氦氣泄漏測試設備

其他

按應用分類

半導體工藝（FEOL / BEOL）

半導體工藝（非易失性存儲器）

LED裝置

動力裝置

實作

MEMS器件

光學膜

磁性裝置

可充電電池

液晶屏

有機發光二極管

觸控面板

展示設備

太陽能電池

磁鐵

汽車零件

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電容器類

包裝材料

裝飾裝修

藥

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