槽式濕法清洗設備
- 公司名稱 無錫亞電智能裝備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地 江蘇無錫
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/3/9 9:28:16
- 訪問次數 3312
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產地類別 | 國產 | 價格區間 | 面議 |
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儀器種類 | 專用型 | 應用領域 | 電子/電池 |
一、 槽式濕法設備:
型號有DF-1500B、DF-2000B、DF-3000B三大系列 ,分Cassetteless type和Cassette type,適用于6吋,8吋,12吋晶圓清洗,主要工藝包括B Clean,Oxide Remove, Nitride Remove, PR Strip, Particle Remove, Solvent Clean, Wafer Reclaim, Metal Etch等,可應用于半導體、LED和太陽能電池等領域。
產品詳情:
1、槽式濕法設備Cassetteless-type:適用于90~130nm工藝制程,均勻性高,顆粒度低和顆粒等級優勢大,適用DMOS、50LOGIC、35MIX等產品。
- 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標準;
- 全自動倒片,兼容SMIF和FOUP;
- 支持EAP、FDC等功能;
- 多級Wafer保護措施;
- 支持Marangoni干燥;
- 支持多任務并行處理;
- 自動補、配液,可兼容多種濃度配比;
- 支持自動補液及配液;
- 配置煙感,溫感,光感及CO2 滅火裝置;
- BATH過溫保護,各MODULE 配置LEAK SENSOR;
- INTERLOCK全面豐富。
2、槽式濕法設備Cassette-type:適用于130nm及以上制程,適用產品如:IGBT、MEMS等,自動化程度高,價比高,穩定性強。
- 搭載*超聲波、兆生波清洗模塊,優化清洗工藝效果;
- 支持EAP、FDC等功能;
- 多級wafer保護措施;
- 集成多種干燥技術,如:馬蘭格尼干燥、IPA 干燥;
- 多尺寸襯底兼容清洗;
- 支持多任務并行處理;
- 全自動滅火系統,排風系統防爆處理,提高設備安全性;
- 自動補、配液,可兼容多種濃度配比。
大家好!無錫亞電智能裝備有限公司是半導體晶圓行業濕法制程服務商,專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術,是*批推進半導體設備國產化的企業之一。公司核心產品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設備,包括槽式設備和單片設備,涵蓋多種前道濕法工藝,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,為應對個性化的清洗需求,公司還研發了多種輔助清洗機臺,如:爐管清洗機,片盒清洗機,部件清洗機,本地化學品供液設備,濕法工作臺,烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達成友好合作。