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RBZK-XY系列 雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)
- 公司名稱 北京瑞邦精控科技有限公司
- 品牌 AUSPRECISION
- 型號(hào) RBZK-XY系列
- 產(chǎn)地 北京
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/3/12 14:56:35
- 訪問次數(shù) 1209
中孔精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)精密直驅(qū)位移臺(tái)雙軸精密線軌運(yùn)動(dòng)臺(tái)高精度直線臺(tái)超精密位移臺(tái)
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精密氣浮直線臺(tái)，精密氣浮轉(zhuǎn)臺(tái)，多軸精密氣浮臺(tái)，精密直驅(qū)直線臺(tái)，多軸精密直驅(qū)直線臺(tái)，精密垂直升降臺(tái)，笛卡爾龍門系統(tǒng)及定制產(chǎn)品。
| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 產(chǎn)品種類 | 電動(dòng) |
|---|---|---|---|
| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 生物產(chǎn)業(yè),電子/電池,包裝/造紙/印刷,鋼鐵/金屬,航空航天 |
設(shè)計(jì)特點(diǎn)
RBZK系列雙軸中空精密運(yùn)動(dòng)臺(tái)，疊層緊湊的中空外形結(jié)構(gòu)，工作點(diǎn)位置降低，光柵反饋位置接近工作表面，在晶圓檢測(cè)中至關(guān)重要。高精度滾柱導(dǎo)軌和精密研磨的加工表面，專業(yè)的裝配工藝，獲得直線度±1.25μm，平面度±1.5μm。
雙驅(qū)結(jié)構(gòu)
每軸用雙直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)，龍門交叉解耦控制算法，提供雙電機(jī)的運(yùn)行的一致性，提供大推力、速度1m/s和準(zhǔn)確的定位，直線電機(jī)的溫度控制在室溫，比滾珠絲桿傳動(dòng)結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)臺(tái)，性能有了提升。
光柵反饋
每軸采用雙光柵尺閉環(huán)反饋，安裝位置接近工作表面，能夠有效地降低系統(tǒng)誤差影響，提升整體精度性能。可選電子分辨率≤1nm或≤5nm。
線纜管理
使用高質(zhì)量無塵拖鏈，優(yōu)化管線彎曲半徑，防止動(dòng)作過程中影響其性能，同時(shí)也適用在潔凈室內(nèi)。
規(guī)格指標(biāo)
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-E，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。
1. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
2. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
3. 空載條件下指標(biāo)，MAX速度和加速度取決于負(fù)載大小。
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