| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 電動 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 生物產業,電子/電池,航空航天,電氣,綜合 |
| 定位精度 | ±0.5arc sec | 同步跳動誤差 | 10nm |
| MAX承載 | 1T |
結構特點
由無齒槽直驅力矩電機、閉式氣浮軸承和圓光柵反饋組成，MAX限度的提高定位性能。閉式氣浮結構設計使工作臺面降到Min，減小系統誤差影響。具有高軸向剛度和大承載能力。解決氣浮軸抱死的問題，力矩電機固有的零齒槽效應和扭矩波紋折射，適合在各種速度下平滑轉動。
精度性能
瑞邦精控的QFR系列氣浮轉臺同步軸向跳動誤差和徑向跳動誤差10nm，擺角誤差3μrad，MAX負載1T，電動控制和手動轉動跳動誤差一致，使用壽命10年以上。
閉環反饋
使用圓光柵閉環反饋，分辨率優于0.01arc sec，同時采用高性能控制系統，優化氣浮結構，氣浮轉臺能精準回到零點位置。
定制化
氣浮轉臺可安裝滑環，用于空間模擬裝置，MEMS和慣性導航等應用。
規格指標
注：
以上為單軸精度指標，在潔凈間內測試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動等級VC-F，測試點在轉動臺面上25mm處，測試速度2-10deg/s，Renishaw激光干涉儀及自帶分析方法測量，精度測試與負載尺寸及測試點高度有關，環境的變化會導致精度變化，如需非標準測試，請咨詢我們。
1. 電子分辨率取決編碼器線數及控制器的細分倍數。
2. MAX轉速取決于負載大小，可定制更高轉速。
3. 為保護氣浮軸承建議加裝壓力保護開關。壓縮空氣必須是清潔的（過濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無水（壓力露點-20℃，ISO8573-1級別3）及無油（ISO8573-1級別1）。
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