電子掃描顯微鏡

技術參數：

*1、光學系統：無限遠色差校正光學系統；

2、放大倍數：40X—1000X；

*3、目鏡：大視場高眼點目鏡10X，

4、鏡筒組：三目鏡筒，30度傾斜，光瞳間距50—75mm，頭部為絞鏈式三目頭；分光比0：100或80：20

5、電子掃描顯微鏡：粗微動同軸式調焦且低手位操作, 行程25mm，微調精度2um，設有防下滑裝置及粗調松緊裝置，配有調焦上限位裝置。電動調焦裝置

*6、平臺組：電動機械移動平臺，進口三角導軌，電動接口，平臺尺寸：190x140mm，范圍：55X78mm，雙片夾結構，

*7、柯拉照明系統： 6V/30W進口燈泡，超長壽命；

8、PLAN4X/0.1，    PLAN10X/0.25，PLAN20X/0.40(彈簧)， PLAN40X/0.66(彈簧)、        PLAN100X/1.25(彈簧，油)；

9、物鏡轉換器：內傾式五孔滾珠軸承，帶防霉裝置；

10、聚光鏡組：升降式阿貝聚光鏡， NA= 1.25，帶刻度的可變光欄；

11、可選配： （1）熒光裝置   （2）相差裝置           （3） 暗場和偏光裝置

12.可選配數碼攝像系統：

 在掃描電鏡應用中，很多集中在半導體器件和集成電路方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化。焊接開裂和腐蝕表面的細節或相互關系可以很容易地觀察到。利用束感生電流，可以觀測半導體P—N結內部缺陷。