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F-50、F-60 膜厚測量儀——自動厚度測繪系統(tǒng)

參考價 16
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!


岱美有限公司(下面簡稱岱美)成立于1989年,是一間擁有多年經(jīng)驗的性高科技設備分銷商,主要為半導體、MEMs、光通訊、數(shù)據(jù)存儲、高校及研發(fā)中心提供各類測量設備、工序設備以及相應的技術(shù)支持,并與一些重要的客戶建立了*合作的關(guān)系。

自1989年創(chuàng)立至今,岱美的產(chǎn)品以及各類服務、解決方案廣泛地運用于中國大陸、香港、中國臺灣、新加坡、泰國、馬來西亞、菲律賓等地區(qū)。
主要產(chǎn)品包括有:EVG晶圓鍵合設備、EVG納米壓印設備、EVG紫外光刻機、EVG涂膠顯影機、EVG硅片清洗機、EVG超薄晶圓處理設備、壓力計、流量計、等離子電源、非接觸式光學三坐標測量儀、薄膜厚度檢測儀、電容式位移傳感器、振動樣品磁強計 (VSM)、粗糙度檢測儀、電鏡 (SEM)、透鏡 (TEM)、原子力顯微鏡 (AFM)、防振臺系統(tǒng)、三維原子探針材料分析儀 (Atom Probe)、激光干涉儀、平面/球面大口徑動態(tài)激光干涉儀、氦質(zhì)譜檢漏儀、紫外線固化儀、碳納米管生長設備等。
岱美中國擁有八十多名訓練有素的工程師,能夠為各地區(qū)用戶作出快捷、可靠的技術(shù)支持和維修服務;為確保他們的專業(yè)知識得以更新及并適應新的要求,岱美定期委派工程師前往海外接受專項技術(shù)訓練,務求為顧客提供更高質(zhì)素的售后服務及技術(shù)支持。
總部位于中國香港的岱美分別在新加坡、泰國、中國臺灣、馬來西亞、菲律賓及中國大陸(上海、東莞及北京)設立了分公司及辦事處,以帶給客戶更快捷更的銷售及維修服務。
我們真誠希望和業(yè)界的用戶互相合作,共同發(fā)展!!
     

膜厚測量儀、隔震臺、磁強計

產(chǎn)地類別 進口 價格區(qū)間 50萬-100萬
應用領(lǐng)域 化工,能源,電子,航天,電氣

*代理商——岱美儀器技術(shù)服務(上海)有限公司

 

F50膜厚測量儀——自動厚度測繪系統(tǒng)

 

自動膜厚映射

Filmetrics F50系列產(chǎn)品可以每秒繪制兩個點的薄膜厚度。電動R-Theta載物臺可以接受標準和定制的卡盤,用于直徑大為450mm的樣品。(這是在我們的生產(chǎn)系統(tǒng)中執(zhí)行數(shù)百萬次測量的同一壽命階段!)

地圖圖案可以是極性,矩形或線性的,也可以創(chuàng)建自己的樣式,而對測量點的數(shù)量沒有限制。提供了數(shù)十種預定義的地圖圖案。F50膜厚映射系統(tǒng)連接到Windows®計算機的USB端口,可以在幾分鐘內(nèi)完成設置。

不同的F50儀器的主要區(qū)別在于厚度和波長范圍。標準F50是非常受歡迎的。通常,較短的波長(例如F50-UV)用于測量較薄的膜,而較長的波長則可以測量較厚,更粗糙和更不透明的膜。

F54 膜厚測量儀——自動厚度測繪系統(tǒng)

自動膜厚映射

借助F54*的光譜反射系統(tǒng),可以快速輕松地繪制直徑大為450毫米的樣品的薄膜厚度。電動r-theta平臺自動移動到選定的測量點,并提供每秒2個點的速度測量。

從數(shù)十種預定義的極性,矩形或線性地圖圖案中選擇一種,或創(chuàng)建自己的不受限制的測量點數(shù)量。整個桌面系統(tǒng)只需幾分鐘即可完成設置,任何具有基本計算機技能的人都可以使用。

F54膜厚映射系統(tǒng)連接到Windows®計算機的USB端口,可以在幾分鐘內(nèi)完成設置。

不同儀器的主要區(qū)別在于厚度和波長范圍。通常,較短的波長(例如F54-UV)用于測量較薄的膜,而較長的波長則可以測量較厚,更粗糙和更不透明的膜。

F60系列膜厚測量儀——自動厚度測繪系統(tǒng)

 

用于生產(chǎn)環(huán)境的自動厚度映射

Filmetrics F60-t系列像我們的F50產(chǎn)品一樣繪制膜的厚度和折射率,但是它還包含許多專門針對生產(chǎn)環(huán)境的功能。其中包括自動找到缺口,自動機載基線,帶運動互鎖功能的封閉式測量臺以及帶有預裝軟件的工業(yè)計算機。

不同的F60-t儀器的主要區(qū)別在于厚度和波長范圍。通常,需要較短的波長(例如F60-t-UV)來測量較薄的薄膜,而較長的波長則可以測量較厚,更粗糙和更不透明的薄膜

F60-t P1.png

 

F60-t P2.png

 

 

岱美有限公司與Filmetrics從03年開始的合作關(guān)系,單是國內(nèi)16年間已賣出超過600臺不同型號儀器,在國內(nèi)有多個服務處均有工程師,保證能為客戶提供及時的服務。

Dymek logo.png            Filmetrics Logo.png

經(jīng)濟實惠的薄膜厚度測量系統(tǒng)的銷售*,讓復雜測量變得簡單

 

 

產(chǎn)品簡介:

美國 Filmetrics 公司生產(chǎn)的薄膜厚度測量儀利用反射干涉的原理進行無損測量,可測量薄膜厚度及光學常數(shù)。測量精度達到埃級的分辯率,測量迅速,操作簡單,界面友好,是目前市場上jiju性價比的薄膜厚度測量設備。設備光譜測量范圍從近紅外到紫外線,波長范圍從200nm到1700nm可選。凡是光滑的,透明或半透明的和所有半導體膜層都可以測量。其可測量薄膜厚度在 1nm 到 13mm 之間,測量精度高達1 埃,測量穩(wěn)定性高達 0.7 埃,測量時間只需一到二秒, 并有手動及自動機型可選。可應用領(lǐng)域包括:生物醫(yī)學(Biomedical), 液晶顯示(Displays), 硬涂層(Hard coats), 金屬膜(Metal), 眼鏡涂層(Ophthalmic) , 聚對二甲笨(Parylene), 電路板(PCBs&PWBs), 多孔硅(Porous Silicon), 光阻材料(Thick Resist),半導體材料(Semiconductors) , 太陽光伏(Solar photovoltaics), 真空鍍層(Vacuum Coatings), 圈筒檢查(Web inspection applications)等。

 

 

應用:

通過Filmetrics膜厚測量儀新反射式光譜測量技術(shù),多達3-4層透明薄膜厚度、 n、k值及粗糙度能在數(shù)秒鐘測得。其應用廣泛,例如:

半導體制造

液晶顯示器

生物醫(yī)療元件

微機電系統(tǒng)

光學鍍膜

Photoresist

光刻膠

Oxides

氧化物

Nitrides

氮化物

SOI

絕緣體上硅

Cell Gaps液晶間隙

Polyimide

聚酰亞胺保護膜

ITO

納米銦錫金屬氧化物

Polymer/Parylene   Layers

 聚合物/聚對二甲苯涂層

Membrane/Balloon Wall   Thickness

生物膜/氣泡球厚度

Drug-Coated Stent

藥物涂層支架

Silicon Membranes

硅膜

AlN/ZnO Thin Film Filters

氮化鋁/氧化鋅薄膜濾鏡

Hardness Coatings

硬鍍膜

Anti-reflection Coatings

增透鍍膜

Filters濾光

 

 

膜層實例:

幾乎任何光滑、半透明、低吸收的膜都能測。包括:

SiO2(二氧化硅)           SiNx(氮化硅)                    DLC(類金剛石碳)

Photoresist(光刻膠)     Polyer Layers(高分子聚合物層)      Polymide(聚酰亞胺)

Polysilicon(多晶硅)      Amorphous Silicon(非晶硅)

 

 基底實例:

對于厚度測量,大多數(shù)情況下所要求的只是一塊光滑、反射的基底。對于光學常數(shù)測量,需要一塊平整的鏡面反射基底;如果基底是透明的,基底背面需要進行處理使之不能反射。

包括:

Silicon(硅)         Glass(玻璃)               Aluminum(鋁)

Gas(砷化鎵)        Steel(鋼)                 Polycarbonate(聚碳酸脂)

Polymer Films(高分子聚合物膜)

產(chǎn)品應用,在可測樣品基底上有了*的飛躍:

●幾乎所有材料表面上的鍍膜都可以測量,即使是藥片,木材或紙張等粗糙的非透明基底。

●玻璃或塑料的板材、管道和容器。

●光學鏡頭和眼科鏡片。

 

服務:

免費樣機演示及測量

輕輕一按即可實現(xiàn)測量!

請聯(lián)系我們,專業(yè)的應用工程師將為你演示它是如此的方便!

優(yōu)勢:

*     提供在線診斷

*     配送獨立的軟件包

*     精通的歷史功能即程序數(shù)據(jù)可存儲、復制及策劃結(jié)果

*     免費軟件升級

 

 

               thickness measurement yuanli.png

 

極易操作、快速、準確、機身輕巧及價格便宜為其主要優(yōu)點,F(xiàn)ilmetrics提供以下型號以供選擇:

一、單點測量系統(tǒng)(從 1nm 到 13mm 單層及多層厚度測量)

F20.jpg  F3-sX.jpg   F10-HC.jpg

F20

*銷非常好的薄膜測量系統(tǒng),有各種不同附件和波長(由220nm紫外線區(qū) 至1700nm近紅外線區(qū))覆蓋范圍,為任意攜帶型,可以實現(xiàn)反射率、膜厚、n、k值測量。

F3-sX

能測量半導體與介電層薄膜厚度到3毫米, 例如硅片

F10-ARc

可測量鏡片和其他曲面的反射率,用于涂層厚度測量

F10-HC

測量硬涂層和防霧層厚度和折射率,聚碳酸酯硬涂層在汽車等行業(yè)應用普通

F3-CS

提供微小視野及微小樣品測量,USB連接電腦即可使用,攜帶方便

F10-AR

測量眼科鏡頭和其他彎曲表面的反射率。還可以提供測量硬涂層厚度和透射率的可選件

F10-RT

可同時測量反射率和透射率,也可選配測量膜層厚度和折射率。普遍應用于真空涂層領(lǐng)域

F20實現(xiàn)反射率跟穿透率的同時測量,特殊光源設計特別適用于透明基底樣品的測量。

 

 

二、F40 系列- 基于微米(顯微)級別光斑尺寸厚度測量

F40 with SS-Microscope.jpg

F40

可以固定到您的顯微鏡上來測量小至 1um 光斑點的厚度和折射率

這型號安裝在任何顯微鏡外,可提供小到1um光點(100倍放大倍數(shù))來測量微小樣品。

 

三、F50/F60系列- 表面的自動測繪

F60-t with computer.png

F50

為我們的F20系列產(chǎn)品增添自動測繪能力,以每秒鐘 2 個點的快速測繪厚度和折射率

這型號配備全自動XY工作臺,由8"x8"18"x18"或客戶提供所需尺寸均可。通過快速掃瞄功能,可取得整片樣品厚度分布情況(mapping)

F54

能以每秒測量兩個點的速度快速的測繪薄膜厚度,樣品直徑可達450毫米

F60-t

滿足生產(chǎn)環(huán)境的臺式測繪系統(tǒng),包括自動基準確定、凹槽定位、全封閉測量平臺以及其它裝置

 

四、F30 系列- 在線厚度監(jiān)控儀器

F30.jpg       F32.jpg

F30

檢測金屬有機化學氣相沉積(MOCVD)、陰極濺鍍和其他沉積工藝中監(jiān)控反射率、厚度和沉積率

這型號可安裝在任何真空鍍膜機腔體外的窗口。可實時監(jiān)控長晶速度、實時提供膜厚、nk值。并可切定某一波長或固定測量時間間距。更可加裝至三個探頭,同時測量三個樣品,具紫外線區(qū)或標準波長可供選擇。

F32

實時監(jiān)控薄膜頂部和底部的反射率和沉積速率

 

 



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