MProbe系列薄膜測厚儀是一種非接觸式、無損的、精確且快速的光學薄膜厚度測量技術。

　　測量范圍: 1 nm - 1 mm

　　波長范圍: 200 nm -8000 nm

　　光斑尺寸:2mum -3 um

　　產品特點：

　　a. 測量精度：0.01nm或0.01%

　　b. 準確度：1nm或0.2%

　　c. 穩定性：0.02nm或0.02%

　　d. 強大的軟件材料庫，包含500多種材料的光學常數

　　e. 通過Modbus TCP或OPC協議，與其他設備聯用

　　適用于實時在線測量，多層測量，非均勻涂層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

MProbe系列薄膜測厚儀

標準配置中包含：

　　1. 主機(光譜儀，光源，電線)

　　2. 反射光纖

　　3. 樣品臺及光纖適配器

　　4. TFCompanion軟件

　　5. 校準套裝

　　6. 測試樣品，200nm晶圓

　　廣泛的應用于各種工業生產及工藝監控中：

　　半導體晶圓，薄膜太陽能電池，液晶平板，觸摸屛，光學鍍膜，聚合物薄膜等