鈣鈦礦鍍膜機
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- 公司名稱 深圳市科晶智達科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/11/5 13:13:20
- 訪問次數 1551
產品標簽
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產地類別 | 國產 | 應用領域 | 電氣 |
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鈣鈦礦鍍膜機主要由有機/金屬源蒸發沉積室、真空排氣系統、真空測量系統、蒸發源、樣品加熱控溫、電控系統、配氣系統等部分組成。適用于制備金屬單質薄膜、半導體薄膜、氧化物薄膜、有機薄膜等,可用于科研單位進行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產前的試驗工作,廣泛應用于有機、無機、鈣鈦礦薄膜太陽能電池、OLED等研究領域。
功能特點 |
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樣品位于真空室上方,蒸發源位于真空室下方,向上蒸發鍍膜,且蒸發源帶有擋板裝置。
設有烘烤加熱功能,可在鍍膜過程中加熱樣品,MAX烘烤加熱溫度為180℃。
設有斷水、斷電連鎖保護報警裝置及防誤操作保護報警裝置。
技術參數 | ||
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鍍膜室 | ● 不銹鋼材料,采用方形前后開門結構,內帶有防污板,腔室尺寸約為600mm×450mm×450mm | |
真空排氣系統 | ● 采用分子泵+機械泵系統 | |
真空度 | ● 鍍膜室極限真空≤6×10-4Pa | |
系統漏率 | ● ≤1×10-7Pa | |
蒸發源 | ● 安裝在真空室的下底上;有機蒸發源4個、容積5ml,2臺蒸發電源,可測溫、控溫,加熱溫度400℃,功率0.5KW;無機蒸發源4套、容積5ml,2臺蒸發電源,加熱電流300A,功率3.2KW;蒸發源擋板采用自動磁力控制方式控制其開啟 | |
樣品架 | ● 安裝在真空室的上蓋上,可放置?120mm的樣品、載玻片,旋轉速度0-30rpm | |
加熱溫度 | ● RT-180℃,測溫、控溫 | |
膜厚控制儀 | ● 石英晶振膜厚控制儀,膜厚測量范圍0-999999? |
鈣鈦礦鍍膜機
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