蔡司VoluMax工業CT“誤差”的概念在蔡司三坐標測量過程和加工過程中分別有不 同的理解和規定。通常，“測量誤差”定義為“測得值與其真值之差”，所以，測量誤差是代數值。在數據處理時，又引入修正值的概念，負的測量誤差稱為修正 值。

蔡司VoluMax工業CT將測得值加修正值，可以消除測量誤差。顯然，測量誤差的上述定義只有理論上的意義，因為被測量的真值是很難的。實用上常以多次測量同一被測量所得 測得值的平均值作為相對真值代替真值來計算測量誤差。在這個意義上，似乎將測量誤差改稱為測量偏差更為確切。

2、偏差
“偏差” 的定義是在GB/T 1800.1—1997《限與配合 基礎 第1部分：詞匯》中給出的，“偏差” 的定義是： “某一尺寸(實際尺寸、限尺寸等等)減其基本尺寸所得的代數差。”作為GPS的基礎標準，這一定義不僅適用于一切以線值表示的幾何量，也適用于用角值表 示的幾何量。

這里所說的只是偏差的一般概念。在實際應用時，還應區別“實際偏差”和“限偏差”。前者是由工件的實際尺寸(或角度)定義的，即實際尺寸 (或角度)與基本尺寸(或角度)之差，是在實際加工中的(在GB/T 1800.1中未對此定義是不妥的);后者是由設計者按功能要求確定的限尺寸而定義的，即限尺寸與基本尺寸之差，是在圖樣標注中表達的設計要求。

在多 數情況下，限尺寸(實際尺寸允許變動的界限值)有大和小限尺寸，所以相應地有“上(限)偏差”和“下(限)偏差”。工件實際尺寸的合格條件 是：實際尺寸不超出大和小限尺寸，也可以表達為：實際偏差不超出上、下(限)偏差。

3、公差
與偏差相同， “公差” 的定義也是在GB/T1800.1中給出的。標準對“尺寸公差”(簡稱“公差”)的定義是： “大限尺寸減小限尺寸之差，或上偏差減下偏差之差。它是允許尺寸的變動量。”此外，在GB/T 18779.1 oo2《產品幾何量

技術規范(GPS) 工件與測量設備的測量檢驗第1部分：按規范檢驗合格或不合格的判定規則》中更廣義地定義“公差” 是“上公差限與下公差限之差，或大允許值與小允許值之差”，并注明“公差是一個沒有符號的量”。

蔡司VoluMax工業CT所以，尺寸公差是一批工件的尺寸的允許變動，當然也是 同一尺寸要素上不同位置的實際尺寸的允許變動。但是，在以幾何概念作為理論基礎建立起來的形位公差國家標準和標準，規定形狀和位置公差是實際被測要素 的允許變動量，它是形狀和位置公差帶的寬度或直徑，表示實際被測要素允許變動區域(公差帶)的大小。

蔡司VoluMax工業CT因此，尺寸公差和形位公差雖然都是“允許變動量”，但 尺寸公差并不直接表示在設計圖樣上，而是由上、下偏差來控制實際偏差的;形位公差則直接在圖樣上標出，并用來控制每一實際被測要素的形位誤差。