美國api XD3LS激光干涉儀

激光干涉儀 激光干涉儀介紹：

激光干涉儀 激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統測量位移的通用長度測量。介紹 激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩頻氦氖激光為光源，構成一個具有干涉作用的測量系統。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。分類激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻激光干涉儀從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式[356-11]式中λ為 激光波長(N 為電脈沖總數)，算出可動反射鏡的位移量L。使用單頻激光干涉儀時，要求周圍大氣處于穩定狀態，各種空氣湍流都會引起直流電平變化而影響測量結果。雙頻激光干涉儀 在氦氖激光器上，加上一個約0.03特斯拉的軸向磁場。由于塞曼分裂效應和頻率牽引效應, 激光器產生1和2兩個不同頻率的左旋和右旋圓偏振光。經1/4波片后成為兩個互相垂直的線偏振光,再經分光鏡分為兩路。一路經偏振片1后成為含有頻率為f1-f2的參考光束。另一路經偏振分光鏡后又分為兩路：一路成為僅含有f1的光束,另一路成為僅含有f2的光束。當可動反射鏡移動時,含有f2的光束經可動反射鏡反射后成為含有f2 ±Δf的光束，Δf是可動反射鏡移動時因多普勒效應產生的附加頻率,正負號表示移動方向(多普勒效應是奧地利人C.J.多普勒提出的，即波的頻率在波源或接受器運動時會產生變化)。這路光束和由固定反射鏡反射回來僅含有f1的光的光束經偏振片2后會合成為f1-(f2±Δf）的測量光束。測量光束和上述參考光束經各自的光電轉換元件、放大器、整形器后進入減法器相減,輸出成為僅含有±Δf的電脈沖信號。經可逆計數器計數后，由電子計算機進行當量換算（乘 1/2激光波長）后即可得出可動反射鏡的位移量。雙頻激光干涉儀是應用頻率變化來測量位移的，這種位移信息載于f1和f2的頻差上，對由光強變化引起的直流電平變化不敏感，所以抗干擾能力強。它常用于檢定測長機、三坐標測量機、光刻機和加工中心等的坐標精度，也可用作測長機、高精度三坐標測量機等的測量系統。利用相應附件，還可進行高精度直線度測量、平面度測量和小角度測量。

API XD Laser激光干涉儀的組成:
XD Laser激光干涉儀是在LMS激光干涉儀的基礎.上進行了改進。將控制箱集成到激光頭里,將原先的有線數據傳輸改為全程無
線數據傳輸。因此、XD Laser激光干涉儀是由激光頭、傳感器、氣象站、筆記本電腦和連接整個系統的電纜組成。

XD Laser激光干涉儀技術綜述:
●1D激光主要可以測量定位誤差
●3D激光可以測星定位誤差、直線度誤差(雙向)
●5D/6D激光可以測星定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角

主要特點:
一同時測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
一設計用于安裝在機床主軸上的5D/6D傳感器
一可選的無線遙 控傳感器長的控制距離可到25米
一可測星速度、 加速度、振動等參數,并評估機床動態特性。
-設計緊湊、體積小,測量機床時不需三角架
一集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調整步驟,減少了調整時間

產品特點：
1、XD-3D激光干涉儀有一個良好緊湊的激光頭(內置控制器)。激光頭在測量安裝上非常方便，用戶可以直接將它安裝在機床上，靈活的安裝方式給予用戶很大的靈活性。該系統的主要部件有激光頭(包括干涉鏡組、激光控制部件和以太網通信模塊、電源)、環境傳感器（稱為氣象站）、反射鏡（XD-3D配置）.

2、API干涉儀激光頭、干涉鏡、控制器放在了主機一體，直接從主機出光配合反射鏡兩點調光的測量，其它廠家，激光頭、干涉鏡，反射鏡分成了三個部分，在調整一個線性上是三點對光的調整，*，兩點對光比三點對光更方便快捷。

3、XD-3D激光干涉儀一次安裝可以同時測量機床的多個參數，相比于傳統的激光干涉儀，測量中不需要更換鏡組，不要重新調整光路，大大提高了測量效率。

4、配垂直度附件的XD-3D系統，只需要兩次安裝，就可以得到兩根被測軸線各自的線性精度（定位精度、重復定位精度、反向間隙）、水平方向直線度、垂直方向直線度以及兩軸之間的垂直度共7個參數，節省測量時間80%以上。

5、XD-3D激光干涉儀做直線度測量的時候，可以同時測量被測導軌水平和豎直兩個方向的直線度。可以實現準直儀的功能，利用其可以實現長導軌安裝中直線度（水平和豎直）兩個方向的實時調整，調整過程中不受光路斷光的影響。

XD Laser被來自世界名地的API用戶用于:
、CMMICNC的校準、 補償
機床導軌平行度的測量
、旋轉額的測量
垂直度的測量
、對角線的測量
、CNC反饋
、機器人位置反饋: